在现代电子与计算机高度发畏的今天,决定检测精 度、可靠性、检测范圊的夭键部件是触针本身以及传感 器与驱动装置 (1)触针理论上触针针尖半径越小越好,它可分辨 出更细微波长的平面度。但实际上针尖半径不可能儆得 无限小。针尖的形状和半径均有国际标准。 2)传感器最常用的两种为:线性差动变压器(图 3-12aP51)和激光干涉式传感器(图3-12bP51)。 (3)驱动装置使被检测件与触针在水平方向上发生 相对运动:一般有电动机十齿轮齿条、电动机十滚珠丝 杠、电动机十皮带与谞台等
11 在现代电子与计算机高度发展的今天，决定检测精 度、可靠性、检测范围的关键部件是触针本身以及传感 器与驱动装置。 （1）触针 理论上触针针尖半径越小越好，它可分辨 出更细微波长的平面度。但实际上针尖半径不可能做得 无限小。针尖的形状和半径均有国际标准。 （2）传感器 最常用的两种为：线性差动变压器（图 3-12a,P51)和激光干涉式传感器（图3-12b,P51)。 （3）驱动装置 使被检测件与触针在水平方向上发生 相对运动：一般有电动机+齿轮齿条、电动机+滚珠丝 杠、电动机+皮带与滑台等
2、检测要求与条件 (1)采样间隔是对检测轮廓量化肘在水千方向 的量化间隔。通常采样间隔是采用等间隔的形式,如图 3-14(P52)所示的。 (2)取样长度是表面分析与计算的基本长度 粗糙度的参数计算一般都是定义在一个取样长度上,女 图3-14(P52)所示的取样长度由|表示
12 2、检测要求与条件 （1）采样间隔 是对检测轮廓量化时在水平方向 的量化间隔。通常采样间隔是采用等间隔的形式，如图 3-14（P52）所示的。 （2）取样长度 是表面分析与计算的基本长度， 粗糙度的参数计算一般都是定义在一个取样长度上，如 图3-14 （P52）所示的取样长度由l表示