5.2弦 5.3梁 5.4形变的转换 第六章微机械力和压力传感器 6.1微机械力传感器 6.2徽机械负荷元（称重传感器） 掌握微机械和压力传感墨的基本构成和特 6 6.3压阻式微机械压力传感器 性，了解其性能及应用方向 6.4电容式微机械压力传感器 6.5力补偿微机械压力传感器 第七章微机械加速度计（声表面 波后再讲) 7.1微机械加速度计的分析模型 掌握微机械加速度的分析模型和不同类型 1.2体徵机械加速度计 微机械加速度计的结构，了解其加工工艺 3 7.3表面微机械加速度计 和性能以及应用领域，重点掌握典型徵机 7.4伺服式微机械加速度计 械加速度的敏感机理， T,5谐振式微机械加速度传感器 1.6典型微机械加速度传感器详解 第八章微机械声表面波传感器 8.1微机械声表面波传感器技术芸 8.2徽机械声表面波传感器检测原 掌握声表面波产生的原理和特性；掌握叉 理 指换能器的结构原理和特性；掌握声表面 3 波温度、化学传感器的结构原理和特性； 8.3徽机械声表面波压力传感器微 掌握声表面波陀螺的结构原理和特性。」 机械声表面波温度传感器 8.4微机械声表面波气体传感器 8.5微机械声表面波陀螺 第九章微机械角速度传感器 9.1徽机械角速度传感器的原理、 掌握几种常见的微机械角速度传感器的工 分类与性能 9.2典型微机械角速度传感器 作原理和工艺制作方法；掌握微机械振动2 陀螺的工作原理、结构原理和特性。 9.3微机械角速度传感器的设计和 工艺制作实例 实验部分 序号 实验项目名称学实验内容、要求及时问安排、仪器要必开/实验
3 5.2 弦 5.3 梁 5.4 形变的转换 6 第六章 微机械力和压力传感器 6.1 微机械力传感器 6.2 微机械负荷元（称重传感器） 6.3 压阻式微机械压力传感器 6.4 电容式微机械压力传感器 6.5 力补偿微机械压力传感器 掌握微机械和压力传感器的基本构成和特 性，了解其性能及应用方向。 4 7 第七章 微机械加速度计（声表面 波后再讲） 7.1 微机械加速度计的分析模型 7.2 体微机械加速度计 7.3 表面微机械加速度计 7.4 伺服式微机械加速度计 7.5 谐振式微机械加速度传感器 7.6 典型微机械加速度传感器详解 掌握微机械加速度的分析模型和不同类型 微机械加速度计的结构，了解其加工工艺 和性能以及应用领域，重点掌握典型微机 械加速度的敏感机理。 3 8 第八章微机械声表面波传感器 8.1 微机械声表面波传感器技术基 础 8.2 微机械声表面波传感器检测原 理 8.3 微机械声表面波压力传感器微 机械声表面波温度传感器 8.4 微机械声表面波气体传感器 8.5 微机械声表面波陀螺 掌握声表面波产生的原理和特性；掌握叉 指换能器的结构原理和特性；掌握声表面 波温度、化学传感器的结构原理和特性； 掌握声表面波陀螺的结构原理和特性。 3 9 第九章 微机械角速度传感器 9.1 微机械角速度传感器的原理、 分类与性能 9.2 典型微机械角速度传感器 9.3 微机械角速度传感器的设计和 工艺制作实例 掌握几种常见的微机械角速度传感器的工 作原理和工艺制作方法；掌握微机械振动 陀螺的工作原理、结构原理和特性。 2 实验部分 序号 实验项目名称 学 实验内容、要求及时间安排、仪器要 必开/ 实验
时 选开类型 三、教学方法 采用课堂投课教学方式进行， 四、课程思政内容 (说明：课程思政建设内容要围绕整定学生理想信念，以爱党、爱国、爱社会主义、爱 人民、爱集体为主线，从政治认同、家国情怀、文化素养、法治意识、道德修养等方面入手 优化课程思政设计，系统开展中国特色社会主义和中国梦、社会主义核心价值观、法治意识、 中华优秀传统文化等内容教育，) 在介绍传感器发展时结合我国传感器水平落后的现状，鼓励学生积极探索开拓创新，勇 于承担历史使命，在讲解微机械声表面波传感其时介绍我国学者提出的微机械声表面波气体 传感器并借此提升学生的民族自信心，藏励学生进行科研创新。此外，在介绍微机械传感器 原理和应用时可以结合马克思主义实践观：实践是理论形成和发展的源泉，以及马克思主义 认识论：实践是检验真理的唯一标准，借此向学生们阑述理论和实践之问舞证统一、互存互 助的关系， 五、教学目标达成与评价方式 (说明：本课程支撑的知识获得、科研实践能力提升、创新能力提升等方面的教学目标达成 与评价方式) 1.教学目标通过课堂授课方式达成。 2.达成情况通过闭卷考试成绩进行评价。 六、课程成绩评定 (说明：成绩组成部分，具体要求及成绩评定方法等，) 课程结束后，以闭卷考试成绩作为本课程的最终成绩。成绩评定方法以考题的标准答案 及评分细则为参考，各题得分之和即为总分， 七、建议教材与主要参考书 建议教材： M.Elwenspoek;:R.Wiegeringk.硅微机械传感器，北京：中国字航出版社，2003 主要参考书： 【1】蒋蓁等.微型传感器及其应用.北京：化学工业出版社.2005.8 【2】张志英著.MEMS惯性传感器技术.西安：西安交通大学出版社，2016.12
4 时 求 选开 类型 三、教学方法 采用课堂授课教学方式进行。 四、课程思政内容 （说明：课程思政建设内容要围绕坚定学生理想信念，以爱党、爱国、爱社会主义、爱 人民、爱集体为主线，从政治认同、家国情怀、文化素养、法治意识、道德修养等方面入手 优化课程思政设计，系统开展中国特色社会主义和中国梦、社会主义核心价值观、法治意识、 中华优秀传统文化等内容教育。） 在介绍传感器发展时结合我国传感器水平落后的现状，鼓励学生积极探索开拓创新，勇 于承担历史使命。在讲解微机械声表面波传感其时介绍我国学者提出的微机械声表面波气体 传感器并借此提升学生的民族自信心，激励学生进行科研创新。此外，在介绍微机械传感器 原理和应用时可以结合马克思主义实践观：实践是理论形成和发展的源泉，以及马克思主义 认识论：实践是检验真理的唯一标准，借此向学生们阐述理论和实践之间辩证统一、互存互 助的关系。 五、教学目标达成与评价方式 （说明：本课程支撑的知识获得、科研实践能力提升、创新能力提升等方面的教学目标达成 与评价方式） 1. 教学目标通过课堂授课方式达成。 2. 达成情况通过闭卷考试成绩进行评价。 六、课程成绩评定 （说明：成绩组成部分，具体要求及成绩评定方法等。） 课程结束后，以闭卷考试成绩作为本课程的最终成绩。成绩评定方法以考题的标准答案 及评分细则为参考，各题得分之和即为总分。 七、建议教材与主要参考书 建议教材： M.Elwenspoek；R.Wiegeringk.硅微机械传感器。北京：中国宇航出版社，2003 主要参考书： 【1】蒋蓁等.微型传感器及其应用.北京：化学工业出版社.2005.8 【2】 张志英著. MEMS 惯性传感器技术. 西安：西安交通大学出版社, 2016.12
【3】(德)沃克尔·肯普著；张新国等译.惯性MEMS器件原理与实践.北京：国防工 业出版社，2016.05， 【4】蒋庄德等著.MENS技术及应用.北京：高等教育出版社，2018.11 【S】(德)沃克尔·肯普著；张新国等译.惯性MEMS器件原理与实践。北京：国防工 业出版社，2016.05. 【6】微机械压力传感器原理和技术.郑州：郑州大学出版社，2017.12， 八、编制与审核 工作内容 负责人 完成时问 编制（任课教师） 林#早 2024.6.6 审核（学科、专业负责人） 状？ 2024.6.6 批准（主管院长） 闻小丞 2024.6.6
5 【3】（德）沃克尔·肯普著；张新国等译. 惯性 MEMS 器件原理与实践. 北京：国防工 业出版社, 2016.05. 【4】 蒋庄德等著. MEMS 技术及应用. 北京：高等教育出版社, 2018.11. 【5】（德）沃克尔·肯普著；张新国等译. 惯性 MEMS 器件原理与实践. 北京：国防工 业出版社, 2016.05. 【6】 微机械压力传感器原理和技术. 郑州：郑州大学出版社, 2017.12. 八、编制与审核 工作内容 负责人 完成时间 编制（任课教师） 2024.6.6 审核（学科、专业负责人） 2024.6.6 批准（主管院长） 2024.6.6
《科研方法论》课程教学大纲 课程名称 科研方法论 课程编码 IST514 芙文名称 Methodology of 考枝方式 口考试■考查 scientific research 口公共必修课 口专业必修课 学分 口公共选修课 课程性质 ■专业选修课 口补修课 总学时 16 口其他 口本研一体化课程 ▣特色课程 口学科交叉融合课程 课程特点 口全英文授课课程 实验学时 口双语授课课程 口案例课程 口校企联合课程 口其他.- 先修课程（已到 高等数学（或文科类微积分，大学物理（或文科类大学物理） 各知识能力) 适用学科/专 理工文类各专业 学位类别（领域） 一、课程教学目标 (说明：根据培养目标，紧密结合本课程特性与内涵，概括性的确定出学习者学习该课 程后，在知识、科研实践能力和创新能力等方面应达到的目标与要求。) 通过本课程的学习，将使学生了解自然科学的发展历程，并理解科学范式建立的过程： 初步掌握科研方法的思维与实践，为研究生阶段撰写学术论文（或研究报告入学位论文以 及今后从事科学研究打下较为坚实的基础。 二、课程教学内容提要与基本要求 理论部分 序号 教学内容提要 基本要求 学时
6 《科研方法论》课程教学大纲 课程名称 科研方法论 课程编码 IST514 英文名称 Methodology of scientific research 考核方式 □考试 ■考查 课程性质 □公共必修课 □专业必修课 □公共选修课 ■专业选修课 □补修课 □其他_ 学分 1 总学时 16 课程特点 □本研一体化课程 □特色课程 □学科交叉融合课程 □全英文授课课程 □双语授课课程 □案例课程 □校企联合课程 □其他_ 实验学时 0 先修课程（已具 备知识能力） 高等数学（或文科类微积分），大学物理（或文科类大学物理） 适用学科/专业 学位类别（领域） 理工文类各专业 一、课程教学目标 （说明：根据培养目标，紧密结合本课程特性与内涵，概括性的确定出学习者学习该课 程后，在知识、科研实践能力和创新能力等方面应达到的目标与要求。） 通过本课程的学习，将使学生了解自然科学的发展历程，并理解科学范式建立的过程; 初步掌握科研方法的思维与实践，为研究生阶段撰写学术论文（或研究报告）、学位论文以 及今后从事科学研究打下较为坚实的基础。 二、课程教学内容提要与基本要求 理论部分 序号 教学内容提要 基本要求 学时
第一章科学的启蒙：从古代到中 世纪 11几个古老文明的概述 了解人类的几大古老文明对科学启蒙的贡 2 1.2古希腊科学精神的建立 献；理解科学启蒙时代人类对自然界探索 1.3阿拉伯与中国的科技成就 的各种方案与途径。 1,4前牛颜时代的欧洲中世纪 第二章科学范式的建立：自然皙 学中的科学革命 2.1从泰勒斯到欧几里得 2.2从亚里士多德到伽利略 理解从科学启蒙到科学范式建立的路线： 2.3从欧几里得，伽利略到牛顿 理解牛顿的《自然科学的数学原理》的假 2.4科学范式的建立：经典力学 设与结构：深入理解牛顿原理第三篇的科 2.5狭义与广义相对论的建立：爱 学方法论：理解相对论建立的过程与革命 因斯坦的革命 思想；理解量子物理的基本思想及其对经 2.6量子力学的建立：经典物理的 典物理学世界观的革余性改变。 终结与机械决定论的丧失 第三章科研选愿与论文撰写 3.1科研论文简述 3.2科研论文撰写 了解科研的选题思路与方法，握论文撰 3.3投稿过程 6 写的工具，技巧以及论文从撰写到发表的 3.4如何校复审稿人 全流程。 3.5论文全流程实例 实验部分 实验内容、要求及时问安排、仪春要必开/实验 序号 实验项目名称 时 象 选开类型 三、教学方法 通过课堂讲授，实例演示，并通过课堂的思考题以及小作业来引导学生掌握设定的教 学目标。 四、课程思政内容 了解人类中的几大古老文明对科学启蒙的贡献；理解科学启蒙时代人类对自然界探索的 各种方案与途径。理解从科学启蒙到科学范式的建立的路线；理解牛顿的《自然科学的数学
7 第一章 科学的启蒙：从古代到中 世纪 1.1 几个古老文明的概述 1.2 古希腊科学精神的建立 1.3 阿拉伯与中国的科技成就 1.4 前牛顿时代的欧洲中世纪 了解人类的几大古老文明对科学启蒙的贡 献；理解科学启蒙时代人类对自然界探索 的各种方案与途径。 2 第二章 科学范式的建立：自然哲 学中的科学革命 2.1 从泰勒斯到欧几里得 2.2 从亚里士多德到伽利略 2.3 从欧几里得，伽利略到牛顿 2.4 科学范式的建立：经典力学 2.5 狭义与广义相对论的建立：爱 因斯坦的革命 2.6 量子力学的建立：经典物理的 终结与机械决定论的丧失 理解从科学启蒙到科学范式建立的路线； 理解牛顿的《自然科学的数学原理》的假 设与结构；深入理解牛顿原理第三篇的科 学方法论；理解相对论建立的过程与革命 思想；理解量子物理的基本思想及其对经 典物理学世界观的革命性改变。 8 第三章 科研选题与论文撰写 3.1 科研论文简述 3.2 科研论文撰写 3.3 投稿过程 3.4 如何答复审稿人 3.5 论文全流程实例 了解科研的选题思路与方法，掌握论文撰 写的工具，技巧以及论文从撰写到发表的 全流程。 6 实验部分 序号 实验项目名称 学 时 实验内容、要求及时间安排、仪器要 求 必开/ 选开 实验 类型 三、教学方法 通过课堂讲授，实例演示，并通过课堂的思考题以及小作业来引导学生掌握设定的教 学目标。 四、课程思政内容 了解人类中的几大古老文明对科学启蒙的贡献；理解科学启蒙时代人类对自然界探索的 各种方案与途径。理解从科学启蒙到科学范式的建立的路线；理解牛顿的《自然科学的数学