Cu被Cu”溶解量 。 cu被Fe溶解量 Fe”的消耗量 图8-1Fe3+的消耗量与Fe3+及Cu2+溶铜量的关系 www.themegallery.com
www.themegallery.com 图8-1 Fe3+的消耗量与Fe3+及Cu2+溶铜量的关系
8.23蚀刻工艺因素 1独刻剂的浓度 2温度 3.酸度 4.搅拌和过滤 www.themegallery.com
www.themegallery.com ❖8.2.3蚀刻工艺因素 1.蚀刻剂的浓度 2.温度 3.酸度 4.搅拌和过滤
用Ho将39%FeC稀释到35%一 15 三10 39% FeCl 5 川30%Hc将39%FC稀释到35% 0 0153045607590105120135150 起始液中溶解的铜(g/ 图8-3不同蚀刻液溶铜量与蚀刻速率的关系 www.themegallery.com
www.themegallery.com 图8-3 不同蚀刻液溶铜量与蚀刻速率的关系
8.24蚀刻工艺 用三氯化铁为蚀刻剂的蚀刻工艺流程如下: 预蚀刻检查→蚀刻→水洗→浸酸处理→水洗→干燥 →去除蚀层→热水洗→水冲洗→(刷洗)→千燥 →检验 www.themegallery.com
www.themegallery.com ❖8.2.4 蚀刻工艺 用三氯化铁为蚀刻剂的蚀刻工艺流程如下： 预蚀刻检查→蚀刻→水洗→浸酸处理→水洗→干燥 →去除蚀层→热水洗→水冲洗→（刷洗）→干燥 →检验
83氯化铜蚀刻 83.1酸性氯化铜蚀刻剂 这种蚀刻剂以氯化铜(cuc2·2H2o)为基础, 加入盐酸及其它可溶性氯化物配制,它适用于丝 网漏印印料、干膜、金和锡一镍合金为抗蚀层的 印制板的生产。 www.themegallery.com
www.themegallery.com ❖8.3.1酸性氯化铜蚀刻剂 这种蚀刻剂以氯化铜（CuCl2·2H2O）为基础， 加入盐酸及其它可溶性氯化物配制，它适用于丝 网漏印印料、干膜、金和锡—镍合金为抗蚀层的 印制板的生产。 8.3 氯化铜蚀刻