扫描电镜 1)成像物理信号 1.原理与构造 )成像物理信号 二次电子昌 电 背散射电子 特征X射线 2)构造 3)主要性能 我歇电子 特征（射线 内层电子激发 2.像衬原理 成分分析 1)表面形貌 吸收电子 2)原子序数 样品 3.应用 透射电子 扫描电镜 1)成像物理信号 1.原理与构造 )成像物理信号 二次电子 貌分 。00 2)构造 背散射电子 飞析 】 3)主要性能 2.像衬原理 吸收电子 1)表面形貌 透射电子 成分 2)原子序数 3.应用 特征X射线 分析
11 特征X射线 特征X射线 内层电子激发 成分分析 扫描电镜 1）成像物理信号 1.原理与构造 1)成像物理信号 2)构造 3)主要性能 2.像衬原理 1)表面形貌 2)原子序数 3.应用 1）成像物理信号 二次电子 背散射电子 吸收电子 透射电子 特征X射线 成分 分析 形貌分 析 扫描电镜 1.原理与构造 1)成像物理信号 2)构造 3)主要性能 2.像衬原理 1)表面形貌 2)原子序数 3.应用
扫描电镜 2)构造 1.原理与构造 (1)电子光学系统（镜简） 电子枪 1)成像物理信号 2)构造 (2)扫描系统 3)主要性能 2.像衬原理 (3)信号收集系统 单色器目镜回因扫描线圈 显像首 )表面形貌 物镜 (4)图像显示记录系统 2)原子序数 3.应用 (⑤)真空系统 背射电子 二次电子， 试样 (6)电源系统 可制贵号一， 透射电子 扫描电镜 TEM构造 1.原理与构造 中间镜的物平面 1)成像物理信号 物镜的像平面重合 2)构造 3)主要性能 显微像 2.像衬原理 )表面形貌 中间镜的物平面 2)原子序数 3.应用 物镜的背焦面重合 投影慎 衍射花样 荧光 a)成像 b射 电子成像和电子行射图 12
12 (1) 电子光学系统（镜筒） (2) 扫描系统 (3) 信号收集系统 (4) 图像显示记录系统 (5) 真空系统 (6) 电源系统 扫描电镜 2）构造 1.原理与构造 1)成像物理信号 2)构造 3)主要性能 2.像衬原理 1)表面形貌 2)原子序数 3.应用 中间镜的物平面 物镜的背焦面重合 中间镜的物平面 物镜的像平面重合 显微像 衍射花样 扫描电镜 TEM构造 1.原理与构造 1)成像物理信号 2)构造 3)主要性能 2.像衬原理 1)表面形貌 2)原子序数 3.应用
扫描电镜 (1)电子光学系统（镜筒） 电子枪 1.原理与构造 作用：将来自电子 聚光镜 00 显像管 1)成像物理信号 2)构造 3)主要性能 枪的电子束聚焦成亮扫描线圈 0 度高、直径小的入射 2.像衬原理 物镜 1)表面形貌 束（直径一般为10nm 2)原子序数 或更小)来轰击样品， 样品 信号放 3.应用 信号探 使样品产生各种物理 大和处 测器 信号。 SEM原理方框图 扫描电镜 (2)扫描系统 电子枪 1.原理与构造 组成：扫描发生器和聚光镜 )成像物理信号 扫描线圈。 显像管 2)构造 作用： 3)主要性能 扫描线圈 2.像衬原理 1)入射电子束在样品 物镜 1)表面形貌 面扫描，阴极射线显像 2)原子序数 管电子束在荧光屏上作 样品 信号 信号放 3.应用 同步扫描； 大和处 测器 2)改变扫描像放大倍数。 SEM原理方框图 13
13 电子枪 聚光镜 物镜 扫描线圈 样品 信号探 测器 信号放 大和处 理 作用：将来自电子 显像管 枪的电子束聚焦成亮 度高、直径小的入射 束（直径一般为10nm 或更小）来轰击样品， 使样品产生各种物理 信号。 (1)电子光学系统（镜筒） SEM原理方框图 扫描电镜 1.原理与构造 1)成像物理信号 2)构造 3)主要性能 2.像衬原理 1)表面形貌 2)原子序数 3.应用 电子枪 聚光镜 物镜 扫描线圈 样品 信号探 测器 信号放 大和处 理 显像管 SEM原理方框图 组成：扫描发生器和 扫描线圈。 作用： 1)入射电子束在样品表 面扫描，阴极射线显像 管电子束在荧光屏上作 同步扫描； 2)改变扫描像放大倍数。 扫描电镜 (2) 扫描系统 1.原理与构造 1)成像物理信号 2)构造 3)主要性能 2.像衬原理 1)表面形貌 2)原子序数 3.应用