第八章电子探针显微分析(EPMA) 1.分类 2.工作原理 3.样品制备 4.分析方法 扫描电子显微镜 微区成 分分析 电子探针X射线显 微分析
1 第八章 电子探针显微分析（EPMA） 1.分类 2.工作原理 3.样品制备 4.分析方法 扫描电子显微镜 微区成 分分析 电子探针X射线显 微分析
第八章电子探针显微分折(EPMA) ●工作原理：用聚焦电子束照射在试样表面所测的微小区 域上，激发试样中诸元素的不同波长（或能量）的特征X 射线，用X射线谱仪探测，得到X射线谱。 ●作用： 根据特征X射线的波长（或能量）进行元素定性分析。 根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。 ●适用范围：分析从4Be到92U之间的所有元素 电子探针 1.分类 1.分类 1)能谱仪 二次电子 背散射电子 2)波谱仪 2.工作原理 我歇电子 ,特征射线 1)能量色散谱仪 3.样品制备 (能谱仪，EDS) 4.分析方法 吸收电子 2)波长分散谱仪 样品 (波谱仪，DS) 透射电子 2
2 l工作原理：用聚焦电子束照射在试样表面所测的微小区 域上，激发试样中诸元素的不同波长（或能量）的特征X 射线，用X射线谱仪探测，得到X射线谱。 l作用： 根据特征X射线的波长（或能量）进行元素定性分析。 根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。 l适用范围：分析从4Be到92U之间的所有元素 第八章 电子探针显微分析（EPMA） 特征X射线 1. 分类 1)能量色散谱仪 (能谱仪，EDS) 2)波长分散谱仪 (波谱仪，WDS) 电子探针 1.分类 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 3.样品制备 4.分析方法
电子探针X射线显微分析 1.分类 →2.工作原理 3.样品制备 4.分析方法 电子探针分析基本原理 Ac oltage electron 二次电子+俄歇电子 背散射电子 特征X射线
3 电子探针X射线显微分析 1.分类 2.工作原理 3.样品制备 4.分析方法 二次电子+俄歇电子 背散射电子 特征X射线 电子探针分析基本原理
电子探针 电子探针分析基本原理 1.分类 1)能谱仪 定性分析由Moseley定律=KZo)2 2)波谱仪 2.工作原理 1)波谱仪 2)能谱仪 定量分析强度与该元素在样品中的浓度成比例 3.样品制备 4.分析方法 聚焦电子束 探测器 信号转换器 自动记录仪 000 。00 特征X射线谱 试样 电子探针显微分析的基本原理示意图
4 定性分析 定量分析 由Moseley定律 λ=K/(Z-σ)2 强度与该元素在样品中的浓度成比例 电子探针 电子探针分析基本原理 1.分类 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 1)波谱仪 2)能谱仪 3.样品制备 4.分析方法 探测器 试样 聚焦电子束 信号转换器 自动记录仪 特征X射线谱 电子探针显微分析的基本原理示意图
能谱仪一 LV」电子枪 波谱仪 ☐☐主放大器 多道分析器放大器 ☒☒聚光镜 前置占脉高分析器 siai)- ☒ 一晶体计数器 放大器定标器 白计数率器 光学显微镜 你物镜 ☐二次电子检测器 口试样 电子探针仪结构示意图 电子探针 2.工作原理一波谱仪(WDS) 1.分类 1)能谱仪 ■电子束轰击样品表面将产生 2)波谱仪 特征X射线，不同的元素有不 2.工作原理 同的X射线特征波长和能量。 1)波谱仪 利用特征波长来确定元素的 2)能谱仪 3.样品制备 仪器叫做波长色散谱仪。 4.分析方法 ■波谱仪，WDS
5 9 2.工作原理—波谱仪（WDS） n电子束轰击样品表面将产生 特征X射线，不同的元素有不 同的X射线特征波长和能量。 利用特征波长来确定元素的 仪器叫做波长色散谱仪。 n波谱仪，WDS 电子探针 1.分类 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 1)波谱仪 2)能谱仪 3.样品制备 4.分析方法