第八章扫描电子显微分析 第八章扫描电子显微镜(SEM) 1)成像物理信号 1.工作原理与构造 2)构造 2.像衬原理* 3)SEM主要性能 3.应用 思考：扫描电镜、透射电镜，电子探针能做哪些工 作，各自适用范围？
1 第八章 扫描电子显微分析 第八章 扫描电子显微镜（SEM） 1. 工作原理与构造 2.像衬原理* 3.应用 1）成像物理信号 2）构造 3）SEM主要性能 思考：扫描电镜、透射电镜，电子探针能做哪些工 作，各自适用范围？
比较SEM和TEM 1)从接收的成像物理信号 2)从构造角度 3)从主要性能（适用范围） 4)从样品要求和制备 厚度 原子序数 100nm 透射电镜照片(TEM)
2 1）从接收的成像物理信号 2）从构造角度 3）从主要性能（适用范围） 4）从样品要求和制备 比较SEM和TEM 厚度 原子序数 透射电镜照片(TEM)
透射电镜(TEM) 质厚衬度：非晶样品衬度的 振幅衬度 主要来源 衍射衬度：晶体样品衬度的 主要来源 相位衬度：高分辨透射电子显微像
3 衍射衬度：晶体样品衬度的 主要来源 相位衬度：高分辨透射电子显微像 质厚衬度：非晶样品衬度的 主要来源 透射电镜 (TEM)
200nm
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第八章扫描电子显微镜(SEM) 1)成像物理信号 1.工作原理与构造 2)构造 2.像衬原理* 3)SEM主要性能 3.应用 SEM的特点和工作原理 ◆1965年第一台商用SEM问世； ◆SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点； ◆景深大： ◆放大倍数连续调节范围大： ◆分辨本领比较高
5 第八章 扫描电子显微镜（SEM） 1. 工作原理与构造 2.像衬原理* 3.应用 1）成像物理信号 2）构造 3）SEM主要性能 SEM的特点和工作原理 ◆ 1965年第一台商用SEM问世; ◆ SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; ◆ 景深大; ◆ 放大倍数连续调节范围大; ◆ 分辨本领比较高