第一节等离子体的基础知识电场和气压对等离子体的影响米电场强度和气压是二个可影响弧光等离子体放电的宏观参量。米电流密度小时易产生辉光放办电辉光电，如在低气压、强电场条件等离子体下。电晕等离子体米电流密度大易产生弧光放电。米如一个大气压或更高气压条件PIE下，则往往不经辉光放电而直接从电晕放电过渡到弧光放电
第二节蒸发法热蒸发制备材料的大致过程：米通过加热使材料呈气相米在较高真空度中，气相重新substrate凝固成固体（薄膜或粉未）。ElectronMaterialBeamvapor蒸发法中主要考虑的因素：TungstenTargetfilamentMaterial米材料蒸发的控制shieldWatermagetCoolingLines米沉积材料组成的控制TVacuumpump米气相粒子能量的控制米基板温度的控制
第二节蒸发法2.1物质的热蒸发2.1.1物质的蒸发速度在一定的温度下，物质具有特定的平衡蒸气压。单位源物质表面上物质的净蒸发速率应为当环境中被蒸发物质的分压降低到了它的平衡蒸气压以下时，才会出现物质的净蒸发。PDV2元MRTα:系数（0-1)；p.和ph：分别是平衡蒸气压和实际的分压。物质蒸发~温度及真空度（关联度最大）
第二节蒸发法2.1.2元素的蒸发压物质在某一温度时蒸气压的近似表达方式H.+IIn pRT纯元素多是以单个原子、但有时也可能是以原子团的形式蒸发进入气相的。大多数金属达到其熔点时，其平衡蒸气压也低于101Pa。在蒸发法中常温度高于其熔点。Cr、Ti、Mo、Fe、Si等金属在接近熔点温度时,其固相的平衡蒸气压已相对较高。因此，这些元素可以通过固态物质的升华方式形成气相物质。可确定物质蒸发的难易程度
第二节蒸发法2.1.3化合物和合金的蒸发■化合物：米蒸气的成分可能与其固态或液态的成分完全不同。米在气相中，化合物的蒸气可能发生分解过程米沉积后的薄膜成分可能偏离化合物正确的化学组成