第一节等离子体的基础知识1.6等离子体产生方法一气体放电法直流放电：放电简单易行。低频放电：频率范围一般为1100kHz。高频放电：其频率范围为10~100MHz。属于无线电波频谱范围，又称射频放电，最常用的频率为13.56MHz微波放电：当电场的频率超过1GHz时，属于微波放电。常用的微波放电频率为2450MHz
第一节等离子体的基础知识气体放电不同状况10104开始时电流随电压的增.10加而增大（电流值极小10<10-14A）。由于气体内所含自由电荷极少的缘10~故。10--10-16随电压增加，电流也不10-12再上升一电流平台。带10~1电粒子数目有限，达到2004006008001000V(V)氮气在相距50cm，直径为2cm的圆板饱和电流值。电极间，于1.33×102Pa气压条件下放电过程的伏安特住曲线
第一节等离子体的基础知识当电压升到某个临界值时，电流急骤上升，一跃增大几个数量级。这104H是由于大量新电离粒子10产生一汤生放电。10气体击穿后，放电能靠自(V)10~身内部的电离机制来维10~持，自持放电，对应的电10-10-流一自持电流。10-1气体击穿后，内阻降低10~1出现极间电压减小，并102004008006001000V(V)同时在电极周围产生昏图3.2典型的气体放电伏安特性暗辉光一电晕放电
第一节等离子体的基础知识若继续增加放电功率时，申流不断上升。辉光逐渐扩展10到两电极之间的整个放电空10间，发光也越来越明亮一辉-10光放电。10-(Y))10°辉光放电又可分为：前期辉10~$光、正常辉光和异常辉光1010-正常辉光放电的特点是放电1010电流随输入功率的增大而增10加，但极间电压几乎保持不变且明显低于着火电压
第一节等离子体的基础知识再增加放电功率，管压10109降陡降而放电电流大增10电极间整个弧区发出很.10强的光和热一弧光放电10210弧光放电特点是阴极发10~射电子的机理，管压降很10~-低，只有数十伏，而放电10~1010-1电流很大，可以从0.1A到数kA。一热等离子体2004006008001000V(V)典型的气体放电伏安特性图3.2