第一章材料气相合成与制备 气相合成与制备的大致过程 Supply of reactants 在和大气隔开的腔 纳米颗粒 内这些产物重新组 合，形成固相材料 Ditusion outof boundry layer 气相物质： 沉积的薄膜 分子、原 子、原子 簇、自由基 基板
第一章材料气相合成与制备气体本身是一个高能量物质存在状态。气态中的等离子体则是一种能量可受外界调控的体系。许多气相制备方法都涉及到等离子体
第一章材料气相合成与制备第一节等离子体的基础知识1.1等离子体PLRSMR+等离子体：电离程度较高、电离电荷相反、数量相等的气体，通常指由电子、离子、原子或自由基等粒子组成的集合体
第一节等离子体的基础知识等离子体特点（与普通气体相比）导电与电中性：等离子体则是一种导电流体，并且在整体上保持电中性粒子间作用力：等离子体中的带电粒子间存在库仑力，并导致带电粒子群的集体运动。受外场的调制：等离子体的运动行为明显地受到外界电磁场的影响和约束。等离子体与电离气体的关系：气体电离度要大到能限制其自身运动的程度
第一节等离子体的基础知识1.2等离子体的化学特征等离子化学反应的能量水平高。体系温度可达5×1032x104K能使反应体系呈热力学非平衡态。N.→等离子体一→金属材料表面改性(氮化)；装饰材料TiN(金色)；陶瓷材料Si,N4H,C=CH,→等离子体→金刚石薄膜(0.1atm,450℃)，而一般金刚石形成条件为1600~1800C,60,000atm