第一章微纳米技术介绍ADAYINMEMSTHELIFEDoyourealize6:05·什么是微米技术howoftenyouencounter-WhatisMEMSMEMS deviceseveryday?Micro-electromechanicalsystems(MEMS)isMEMSndorsarepnscience,engineering,andtechnologybasedaprocesstechnologyusedto createtinyintegrated devices orsystems that combine mechanicalelectricalandotherfunctionalcomponentsMEMS arethestudyandapplicationoftinyandsmallthingsandcanbeusedacrossvarious fields, such as chemistry,biology,physics, materials science, and engineeringustryGrounsindustrygroup.erg
第一章 微纳米技术介绍 • 什么是微米技术 – What is MEMS • Micro-electromechanical systems (MEMS) is science, engineering, and technology based a process technology used to create tiny integrated devices or systems that combine mechanical, electrical and other functional components. • MEMS are the study and application of tiny and small things and can be used across various fields, such as chemistry, biology, physics, materials science, and engineering. • 什么是微米技术 – What is MEMS • Micro-electromechanical systems (MEMS) is science, engineering, and technology based a process technology used to create tiny integrated devices or systems that combine mechanical, electrical and other functional components. • MEMS are the study and application of tiny and small things and can be used across various fields, such as chemistry, biology, physics, materials science, and engineering
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