第一章微纳米技术介绍加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志现代社会·工业革命加快了人类文明的飞速发展Trajectory takingexponentialgrowthintoaccountdicfionPresenthe tuture)Trajecttorybasedonpastgrowth rateTrajectonybaadorpresenitgrpwth ratnomenTime
第一章 微纳米技术介绍 • 加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志 – 现代社会 • 工业革命加快了人类文明的飞速发展 • 加工制造水平是人类文明发展历史的重要里程标志 – 现代社会 • 工业革命加快了人类文明的飞速发展
第一章微纳米技术介绍，当前加工制造的发展方向一体积大：油轮、运输机、跨海大桥等体积小：半导体芯片、微电子机械系统MEMS等瓦锡兰柴油机主轴，250吨XCG金属加工瓦锡兰柴油机，6层楼高，2446吨
第一章 微纳米技术介绍 • 当前加工制造的发展方向 – 体积大：油轮、运输机、跨海大桥等 – 体积小：半导体芯片、微电子机械系统MEMS 等 • 当前加工制造的发展方向 – 体积大：油轮、运输机、跨海大桥等 – 体积小：半导体芯片、微电子机械系统MEMS 等 瓦锡兰柴油机主轴，250 吨 瓦锡兰柴油机， 6层楼高，2446 吨
第一章微纳米技术介绍特征尺度缩小催生了微纳米当前加工制造的发展方向技术O体积大：油轮、运输机、跨海大桥等O一体积小：半导体芯片、微电子机械系统MEMS等Intel Technology Leadership20052014WO1045路50rm65m45m3222m1410me(intelHONMeTAG2015:50yearsofanexponentiandMoreMoornology10,000,000,000i1,000,000,000100,0000a10.000.00Gate000.15:PRElectrod-DoutleeveryZyeanSilicon substrateSilliconindividualatoms!97960Pe202Substrate= leakage current +defects
第一章 微纳米技术介绍 • 当前加工制造的发展方向 – 体积大：油轮、运输机、跨海大桥等 – 体积小：半导体芯片、微电子机械系统MEMS 等 特征尺度缩小， 催生了微纳米 技术
第一章微纳米技术介绍The Scale of Things-Nanometers and MoreThings NaturalThingsManmade1cm107m10mmHead of a pin1-2mmTheChallenge1.000.8o0.nanometersoy10-m1milimeter (mm)MicroElectroMechanical(MEMS)devicesDust mite10-100μmwide净0.1mm200μm+10-m100gum名FlyashHuman hair10-20mm~60-120 μm wide0.01mm10*m10.gmPolengrainpaeyRed blood oelsRed blood cells(~7-8 μm)Zone plate x-ray"lens1,000 nanometers.10mOutering spacing~35nm1micrometer (um)0.1μum107mXcactaPHOMOueNSelf-assembledNature-inspired structure0.01um100mMany10s.ofnm10nm-10nm diameterNanotube electrodeATPsynthase109mI nanometer (nm)CarbonObuckybaltesCarbon nanotube-13nmdiameteDNAAtoms ofsilicon10:10.mQuantum.corral.of 48 iron.atoms oncc0.1nmrsurface-2-1/2.nm diameterspacing 0.078 nmnedoneatatimewithan STMtic
第一章 微纳米技术介绍
第一章微纳米技术介绍·什么是纳米技术-WhatisnanotechnologyNanotechnologyis science,engineeringandtechnology conducted atthenanoscale,whichisabout1to100nanometers.Nanoscienceandnanotechnologyarethestudyandapplicationofextremelysmallthingsand canbeusedacrossalltheothersciencefields,suchaschemistry,biology,physics,materialsscience,and engineeringhttp://www.nano.gov/nanotech-101/what/definition
第一章 微纳米技术介绍 • 什么是纳米技术 – What is nanotechnology • Nanotechnology is science, engineering, and technology conducted at the nanoscale, which is about 1 to 100 nanometers. • Nanoscience and nanotechnology are the study and application of extremely small things and can be used across all the other science fields, such as chemistry, biology, physics, materials science, and engineering. http://www.nano.gov/nanotech-101/what/definition