第一章微纳米技术介绍ApplicatoinmarketofPowerDevice·为什么需要微纳米技术萧一便携性一低成本一新的产品和应用，社会经济的发展需求成长州IGBT“中国芯”21583D产eACRXOIG8TT5新华网2015年
• 为什么需要微纳米技术 – 便携性 – 低成本 – 新的产品和应用, 社会经济的发展需求 • 为什么需要微纳米技术 – 便携性 – 低成本 – 新的产品和应用, 社会经济的发展需求 第一章 微纳米技术介绍
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内容提要》微纳米技术介绍V微纳来技术的概念√微纳米技术的应用>微纳米加工原理和过程√微纳加工的基本概念√微纳加工的要素√方法步骤和原理》如何利用微纳加工平台加工需求的梳理和设计讨论V加工实施形式：中心代工和自行操作√工艺疑难问题及解决方法
微纳米技术介绍 微纳米技术的概念 微纳米技术的应用 微纳米加工原理和过程 微纳加工的基本概念 微纳加工的要素 方法步骤和原理 如何利用微纳加工平台 加工需求的梳理和设计讨论 加工实施形式：中心代工和自行操作 工艺疑难问题及解决方法 内容提要
第二章微纳米加工原理和过程·微纳米加工一通过能量与物质作用过程，实现特定尺寸、形状图形结构的加工一是在精密加工的基础上，尺度、精度、以及材料特性基础上的进一步延伸
第二章 微纳米加工原理和过程 • 微纳米加工 – 通过能量与物质作用过程，实现特定尺寸、形状图形 结构的加工 – 是在精密加工的基础上，尺度、精度、以及材料特性 基础上的进一步延伸。 • 微纳米加工 – 通过能量与物质作用过程，实现特定尺寸、形状图形 结构的加工 – 是在精密加工的基础上，尺度、精度、以及材料特性 基础上的进一步延伸
第二章微纳米加工原理和过程目前常见的能力束/场形式光束紫外光、超快激光（飞秒、皮秒）、X射线电子束纳米束斑（高斯束斑、变形束斑、多束斑）、宽束斑“三束”离子束宽离子束、聚焦离子束等离子体激光加热、射频、微波、电子回旋等.热能量红外加热、电子束致热、电阻加热。。化学能量液态（KOH、TMAH等刻蚀液）气态（气态HF等）化学吸附、化学自组装电场、磁场：电镀、电解、电火花、电纺丝力和机械能量高速旋转金刚刀片、高速射流、线切割、纳米划痕、旋涂、提拉、喷涂、磨抛、切片混合能量、其他能量纳米压印力、热、光、电、磁、化学等
第二章 微纳米加工原理和过程 • 目前常见的能力束 /场形式 – 光束 • 紫外光、超快激光(飞秒、皮秒)、X射线 – 电子束 • 纳米束斑（高斯束斑、变形束斑、多束斑）、宽束斑 – 离子束 • 宽离子束、聚焦离子束 – 等离子体 • 激光加热、射频、微波、电子回旋等 – 热能量 • 红外加热、电子束致热、电阻加热。 – 化学能量 • 液态（KOH、TMAH等刻蚀液）、气态（气态HF等）、化学吸附、化学自组装 – 电场、磁场 • 电镀、电解、电火花、电纺丝 – 力和机械能量 • 高速旋转金刚刀片、高速射流、线切割、纳米划痕、旋涂、提拉、喷涂、磨抛、切片 – 混合能量、其他能量 • 纳米压印 • 目前常见的能力束 /场形式 – 光束 • 紫外光、超快激光(飞秒、皮秒)、X射线 – 电子束 • 纳米束斑（高斯束斑、变形束斑、多束斑）、宽束斑 – 离子束 • 宽离子束、聚焦离子束 – 等离子体 • 激光加热、射频、微波、电子回旋等 – 热能量 • 红外加热、电子束致热、电阻加热。 – 化学能量 • 液态（KOH、TMAH等刻蚀液）、气态（气态HF等）、化学吸附、化学自组装 – 电场、磁场 • 电镀、电解、电火花、电纺丝 – 力和机械能量 • 高速旋转金刚刀片、高速射流、线切割、纳米划痕、旋涂、提拉、喷涂、磨抛、切片 – 混合能量、其他能量 • 纳米压印 “三束” 力、热、光、电、磁、化学等