透射电镜 电子与固体作用产生的信号 1.原理 :入射电子流 2.仪器构造 r:透射电子流 3.样品制备 4.成像衬度 k:背散射电子流 5.应用 【:二次电子流 Ik:X射线辐射 :样品吸收电流 【:表面元素发射强度 入射电子束与固体作用产生的发射现象 透射电镜 电子与固体作用原理 1.原理 2.仪器构造 固体原子库仑电场 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 入射电子方向改变 入射电子散射 图1.电子散射示意图 (a)与原子核作用：(b)与核外电子作用 6
6 电子与固体作用产生的信号 I I 0 0：入射电子流 IT：透射电子流 IT IR：背散射电子流 IR IS：二次电子流 IS IX：X射线辐射 IX IA：样品吸收电流 IA IE：表面元素发射强度 IE 透射电镜 1.原理 2.仪器构造 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 固体原子库仑电场 入射电子散射 入射电子方向改变 透射电镜 电子与固体作用原理 1.原理 2.仪器构造 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用
透射电镜 散射基元：原子核 弹性散射变化：方向改变 1.原理 2.仪器构造 作用：电子在固体中扩散 3.样品制备 4.成像衬度 散射基元：核外电子 5.应用 非弹性散射变化：方向改变，能量逐渐减小 作用：电子被吸收 一次电子或 初始电子 固体材料的电子激发 二次电子 透射电镜 9 成像 1.原理 2.仪器构造 ◆原子核对入射电子的散射是弹性散射 3.样品制备 4.成像衬度 ◆核外电子对入射电子的散射是非弹性散射 5.应用 图像背景
7 散射基元：原子核 变化：方向改变 作用：电子在固体中扩散 弹性散射 非弹性散射 固体材料的电子激发 散射基元：核外电子 变化：方向改变，能量逐渐减小 作用：电子被吸收 一次电子或 初始电子 二次电子 透射电镜 1.原理 2.仪器构造 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 u原子核对入射电子的散射是弹性散射 u核外电子对入射电子的散射是非弹性散射 成像 图像背景 透射电镜 1.原理 2.仪器构造 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用
透射电镜 1.原理 ·成像原理与光学显微镜类似 2.仪器构造 电子波长极短 >高的像分辨本领 3.样品制备 4.成像衬度 产生衍射现象 ◇结构分析 5.应用 (遵从布拉格方程) 第七章透射电子显微分析 1.原理(7.1) 2.仪器构造(7.1) 3.样品制备(7.3) *4.成像衬度(7.4) *5.应用
8 • 成像原理与光学显微镜类似 电子波长极短 产生衍射现象 （遵从布拉格方程） 高的像分辨本领 结构分析 透射电镜 1.原理 2.仪器构造 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 第七章 透射电子显微分析 1.原理(7.1) 2.仪器构造(7.1) 3.样品制备(7.3) 4.成像衬度(7.4) 5.应用 * *
透射电镜 1.原理 五部分： 2.仪器构造 1)照明系统 照明系统 2)成像系统 3)记录系统 成像系统 4)真空系统 记录系统 5)电器系统 3.样品制备 真空系统 4.成像衬度 电器系统 5.应用 透射电镜 负高压 基本构造： 1.原理 1)照明系统：电子枪 2.仪器构造 聚光镜 和聚光镜 1)照明系统 门】成俊系统 2)成像系统：物镜 3)记录系统 物破 中间镜和投影镜 4)真空系统 一遮区光康 5)电器系统 一中间镜 3)真空系统 3.样品制备 一投影 4)记录系统：荧光屏 4.成像衬度 5.应用 和感光胶片 荧光屏或照相底片
9 五部分： 照明系统 成像系统 记录系统 真空系统 电器系统 透射电镜 1.原理 2.仪器构造 1)照明系统 2)成像系统 3)记录系统 4)真空系统 5)电器系统 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 基本构造： 1）照明系统：电子枪 和聚光镜 2）成像系统：物镜、 中间镜和投影镜 3）真空系统 4）记录系统：荧光屏 和感光胶片 1.原理 2.仪器构造 1)照明系统 2)成像系统 3)记录系统 4)真空系统 5)电器系统 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 透射电镜
透射电镜 1.原理 照明系统 2.仪器构造 1)照明系统 「电子枪：电子源+控制发散装置 2)成像系统 组成 3)记录系统 聚光 4)真空系统 5)电器系统 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 亮度，相干性和稳定性 阴极（接负高压） 第一交叉点 透射电镜 控制极（比阴 极负100- 1.原理 电子枪 1000伏) 2.仪器构造 阳极 )照明系统 2)成像系统 电子束 3)记录系统 4)真空系统 聚光镜 5)电器系统 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 试样 照明部分示意图 10
10 组成 电子枪:电子源+控制发散装置 聚光镜 照明系统 亮度，相干性和稳定性 1.原理 2.仪器构造 1)照明系统 2)成像系统 3)记录系统 4)真空系统 5)电器系统 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 透射电镜 阴极(接负高压) 控制极(比阴 极负100~ 1000伏) 阳极 电子束 聚光镜 试样 照明部分示意图 电 子 枪 第一交叉点 1.原理 2.仪器构造 1)照明系统 2)成像系统 3)记录系统 4)真空系统 5)电器系统 3.样品制备 4.成像衬度 5.应用 透射电镜