电子探针 2.工作原理一波谱仪(WDS) 1.分类 1)能谱仪 检测器！ 利用波长不同 2)波谱仪 电子束 2dsin0=λ 2.工作原理 1)波谱仪 平面单晶体：收集效率低 2)能谱仪 3.样品制备 弯曲单晶体 4.分析方法 分光晶体 每一个检测位置只能检测一种 样品 波长的X射线。 电子探针 2.工作原理一波谱仪(WDS) 1.分类 1)能谱仪 部分分光晶体 2)波谱仪 2.工作原理 晶体 反射晶面间可检测波长可检测元素范围 1)波谱仪 晶面距nm范围nm 2)能谱仪 氟化锂(L正) 200 0.20130.089-0.35 K系：20Ca37Rb 3.样品制备 L系：51Sb-2U 4.分析方法 异戊四醇 002 0.4375 0.2-0.77 K系：14K26Fe C:H2O4,PET L系：37Rb-6sTb M系：2Hf2U 6
6 2.工作原理—波谱仪（WDS） 样品 电子束 分光晶体 利用波长不同 检测器 2d sinθ=λ 平面单晶体：收集效率低 弯曲单晶体 每一个检测位置只能检测一种 波长的X射线。 电子探针 1.分类 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 1)波谱仪 2)能谱仪 3.样品制备 4.分析方法 晶体 反射 晶面 晶面间 距nm 可检测波长 范围nm 可检测元素范围 氟化锂（LiF） 200 0.2013 0.089-0.35 K系：20Ca~37Rb L系：51Sb~92U 异戊四醇 C5H12O4，PET 002 0.4375 0.2-0.77 K系：14K~26Fe L系：37Rb~65Tb M系：72Hf~92 U 部分分光晶体 电子探针 1.分类 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 1)波谱仪 2)能谱仪 3.样品制备 4.分析方法 2.工作原理—波谱仪（WDS）
电子探针 2.工作原理一波谱仪(WDS) 1.分类 1)能谱仪 ·分光晶体沿直线运动 2)波谱仪 X射线穿出样品表面走的 2.工作原理 1)波谱仪 路线相同 2)能谱仪 3.样品制备 SC 4.分析方法 2dsine= I=2Rsine =k/ 直进式波谱仪 电子探针 2.工作原理一波谱仪(WDS) 1.分类 电子束 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 分光晶体和检测器 1)波谱仪 以1：2的角速度运动 2)能谱仪 3.样品制备 仪器简单， 样品 4.分析方法 吸收影响大
7 •分光晶体沿直线运动 •X射线穿出样品表面走的 路线相同 直进式波谱仪 S C D l=SC 2dsinθ=λ l=2Rsinθ λ =kl R l 电子探针 2.工作原理—波谱仪（WDS） 1.分类 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 1)波谱仪 2)能谱仪 3.样品制备 4.分析方法 分光晶体和检测器 以1：2的角速度运动 仪器简单， 吸收影响大 电子探针 2.工作原理—波谱仪（WDS） 1.分类 1)能谱仪 2)波谱仪 2.工作原理 1)波谱仪 2)能谱仪 3.样品制备 4.分析方法