电子枪(3)信号检测放大系统对中线圈作用是收集（检测）样品在入射电子束作用下产生第一聚光镜的各种物理信号，并进行第二聚光镜放大。不同的物理信号要扫描发CRT生器用不同类型的收集系统。扫描线圈CRT物镜12电子信号：电子收消像散集器；检测2）特征X射线信号：X真空视频放大射线谱仪检测。图4扫描电子显微镜成像原理图
1）电子信号：电子收 集器； 2）特征X射线信号：X 射线谱仪检测。 (3) 信号检测放大系统 •作用是收集（检测）样品 在入射电子束作用下产生 的各种物理信号，并进行 放大。不同的物理信号要 用不同类型的收集系统
（4)图像显示和记录系统电子枪与透射电镜不同，阴极射线管不用透镜进行放大扫描发生器成像，而是象闭路电视系统那样，逐视频放大器点逐行扫描成像。电子枪样品扫描电镜工作原理
与透射电镜不同， 不用透镜进行放大 成像，而是象闭路 电视系统那样，逐 点逐行扫描成像。 (4)图像显示和记录系统
(5）真空系统和电源系统扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与透射电镜的相同
（5）真空系统和电源系统 扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与 透射电镜的相同
二构造与主要性能电子光学系统偏转系统信号检测放大系统构造图像显示和记录系统电源系统真空系统等主要性能：放大倍数、分辨率和景深
二、构造与主要性能 •电子光学系统 •偏转系统 •信号检测放大系统 •图像显示和记录系统 •电源系统 •真空系统等 主要性能：放大倍数、分辨率和景深 构造