入射电子束二次电子背散射电子俄歇电子吸收电子样品透射电子电子束轰击固体发生的各种信号及深度
二、构造与主要性能电子光学系统偏转系统信号检测放大系统构造图像显示和记录系统电源系统真空系统等主要性能：放大倍数、分辨率和景深
二、构造与主要性能 •电子光学系统 •偏转系统 •信号检测放大系统 •图像显示和记录系统 •电源系统 •真空系统等 主要性能：放大倍数、分辨率和景深 构造
第一量小交义截班30m电子枪(镜筒）(1) 电子光学系统固定光栏作用：将来自电子枪第一豫光镜第二最小交叉裁斑~3μm的电子束聚焦成亮度周定光栏高、直径小的入射束第二光镜（直径一般为10nm或第三最小交叉粮斑~0.3um更小）来轰击样品，上偏转线圈第三聚光镜使样品产生各种物理下偏转线圈未光栏信号。样品图10-2电子光学系统示意图
作用：将来自电子枪 的电子束聚焦成亮度 高、直径小的入射束 （直径一般为10nm或 更小）来轰击样品， 使样品产生各种物理 信号。 (1)电子光学系统（镜筒）
(2)电子枪扫描系统对中线圈组成：扫描发生器和扫描线圈第一聚光镜作用：第二聚光镜扫描发CRT1）入射电子束在样品表生器扫描线圈CRT面扫描，并使阴极射线物镜消像散显像管电子束在荧光屏检测上作同步扫描：真空视频放大2②改变扫描像放大倍数图4扫描电子显微镜成像原理图
组成：扫描发生器和扫 描线圈 作用： 1)入射电子束在样品表 面扫描，并使阴极射线 显像管电子束在荧光屏 上作同步扫描； 2)改变扫描像放大倍数。 (2) 扫描系统
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