主要性能1.放大倍数当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫摧的幅度为As，荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度为Ac则扫描电子显微镜的放大倍数为：AcM=As因此，由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的。放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度A来实现的。可从20倍到20万倍连续调节
主要性能 • 当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫描 的幅度为AS，荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度为AC， 则扫描电子显微镜的放大倍数为： • 由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因此， 放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅 度AS来实现的。 • 可从20倍到20万倍连续调节。 C S A M A 1.放大倍数
2. 分辨率主要影响因素：①入射电子束斑直径；②入射电子束在样品中的扩展效应③操作方式及其所用的调制信号：④信号噪音比；③杂散磁场；③机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降
2. 分辨率 主要影响因素： ①入射电子束斑直径 ； ②入射电子束在样品中的扩展效应； ③操作方式及其所用的调制信号； ④信号噪音比； ⑤杂散磁场； ⑥机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降
1入射电子束斑直径如束，入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的极限。斑为10nm，那么分辨本领最高也是10nm。一般配备热阴极电子枪的扫描电镜的最小束斑直径可缩小到6nm，相应的仪器最高分辨本领也就在6nm左右。利用场发射电子枪可使束斑直径小于3nm，相应的仪器最高分辨本领也就可达3nm
①入射电子束斑直径 • 入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的极限。如束 斑为10nm，那么分辨本领最高也是10nm。 • 一般配备热阴极电子枪的扫描电镜的最小束斑直径可缩 小到6nm，相应的仪器最高分辨本领也就在6nm左右。 • 利用场发射电子枪可使束斑直径小于3nm，相应的仪器 最高分辨本领也就可达3nm
②入射电子束在样品中的扩展效应入射电子束入射电子束打到样品上，会发生散射，扩散范围如5~10nm俄歇电子升0.5~2nm同梨状或半球状二次电子E可以产生信号的区域称为H背散射电子有效作用区。特征X射线高连续X射线俄歌电子0.4-2nm分辨率二次电子5-10nm背散射电子空间分辨率背散射电子100nm-1umX射线空间分辨率X射线光子500nm-5um低
②入射电子束在样品中的扩展效应 •入射电子束打到样品上， 会发生散射，扩散范围如 同梨状或半球状。 • 可以产生信号的区域称为 有效作用区
入射束能量越大，样品原子序数越小，电子束作用体积越大，但形状不会发生显著电子束能量与撞击深度变化。提高入射电子束的能量对提1kV2kV3kV高分辨率是不利的。1020304050(nm)
•入射束能量越大，样品原子 序数越小，电子束作用体积 越大，但形状不会发生显著 变化