扫描电镜的结构和工作原理
扫描电镜的结构和工作原理
扫描电镜的结构 电子光学系统：电子枪、聚光镜、物镜、各级光阑、 扫描线圈、消像散器、合轴线圈等。 成像系统：各种信号探测器(SE、 BSE探测器，特征X 射线探测器、阴极荧光探测器等)，信号放大输出电 路，图像显示模块等。 真空系统：各种真空泵（机械泵、分子泵、离子泵 等)，真空阀门，真空管道，显示仪表，检测设备等。 电气系统：各种电源（高压电源、扫描电源、透镜电 源等)，安全系统，控制系统等
扫描电镜的结构和工作原理 扫描电镜的结构 电子光学系统：电子枪、聚光镜、物镜、各级光阑、 扫描线圈、消像散器、合轴线圈等。 成像系统：各种信号探测器（SE、BSE探测器，特征X 射线探测器、阴极荧光探测器等），信号放大输出电 路，图像显示模块等。 真空系统：各种真空泵（机械泵、分子泵、离子泵 等），真空阀门，真空管道，显示仪表，检测设备等。 电气系统：各种电源（高压电源、扫描电源、透镜电 源等），安全系统，控制系统等
Image generation in SEM:raster scan Acceleration voltage Cathode Wehnelt cylinder Anode 图 ☒ Screen:Brightness Condensor lens 1 is proportional to Condensor lens 2 SE or BSE signal 囡 Scan generator Deflection coils (X and Y (scan) deflection) Objective ens Amplifiers ←BSE detector SE detector Secondary Back-scattered electrons (SE electrons Probe (BSE) 13
Image generation in SEM: raster scan 13
扫描电镜的成像原理 显示器上的扫描 光 扫描线圈 Scanning(X) Scanning(Y) SEM 像素 电信蜡 样品 显示器 扫描电镜工作原理 电子束在样品和荧光屏同步扫描，出射信号强弱对应转换和显示(0-255， 黑白显示)
扫描电镜的成像原理 电子束在样品和荧光屏同步扫描，出射信号强弱对应转换和显示（0-255， 黑白显示）。 扫描电镜的结构和工作原理
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