扫描电镜 1.扫描电镜的发展历史 2.扫描电镜的结构和工作原理 3.影响扫描电镜成像的关键因素 4.扫描电镜观察常见的问题 5.扫描电镜附件介绍：FIB/EDS/EBSD
1. 扫描电镜的发展历史 2. 扫描电镜的结构和工作原理 3. 影响扫描电镜成像的关键因素 4. 扫描电镜观察常见的问题 5. 扫描电镜附件介绍：FIB/EDS/EBSD 主要内容 扫描电镜
电子显微镜 1932年，德国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制造出了 世界上第一台透射电子 显微镜(TEM)。 Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988) 电子显微镜的分辨率可以达到纳米级，可以用来观察很多在可见光 下看不见的物体，例如病毒
电子显微镜 Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988) 电子显微镜的分辨率可以达到纳米级，可以用来观察很多在可见光 下看不见的物体，例如病毒。 1932年，德国工程师Max Knoll 和Ernst Ruska制造出了 世界上第一 台 透 射 电 子 显 微 镜(TEM)。 扫描电镜的发展背景
。。“ Max Knoll(1897-1969): 1942年，剑桥大学的马伦成功地 1935年提出扫描电镜的设 制造世界第一台扫描电镜。 计思想和工作原理
Max Knoll (1897-1969) ： 1935年提出扫描电镜的设 计思想和工作原理。 1942年，剑桥大学的马伦成功地 制造世界第一台扫描电镜。 扫描电镜的发展背景
What is SEM? A type of electron microscope that produces images of a sample by scanning it with a focused electron beam. The electrons interact with atoms in the sample,producing various signals that can be detected and that contain information about the samples surface topography and composition. It is the most widely used type of electron microscope. 4
What is SEM? • A type of electron microscope that produces images of a sample by scanning it with a focused electron beam. • The electrons interact with atoms in the sample, producing various signals that can be detected and that contain information about the sample’s surface topography and composition. • It is the most widely used type of electron microscope. 4
SEM的特点 ◆成像立体感强 ◆放大倍数连续调节，范围大， ◆分辨率高： ◆样品制备简单，可观察大块样品 ◆对样品的辐射损伤轻、污染小 ◆景深大； ◆可以对固体样品表面和界面进行分析； ◆适合于观察比较粗糙的表面、材料断口和显微组织三维形态： ◆可进行多种功能分析 ◆可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态实验观察
◆ 成像立体感强 放大倍数连续调节，范围大; 分辨率高； 样品制备简单，可观察大块样品 对样品的辐射损伤轻、污染小 景深大； ◆ 可以对固体样品表面和界面进行分析； ◆ 适合于观察比较粗糙的表面、材料断口和显微组织三维形态； ◆可进行多种功能分析 可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态实验观察 SEM的特点 扫描电镜的发展背景