光学显微镜和电子显微镜的区别 究雪 电子源 玻璃凸透镜 聚光镜 样品 样品 (00 偏向线圈 物镜 ☒物镜 扫描 二次电子探头 样品 投影凸透镜 投影镜 70 CRT 像 像 像 光学显微镜 透射电镜 扫描电镜
光学显微镜和电子显微镜的区别 扫描电镜的发展背景
TEM(thin specimen) SEM (usual specimen) ---------Electron gun ---------Electron gun ◆-====”-First aperture ---"First condenser lens --Condenser lens 4-------Second aperture 4-----Second condenser lens ◆===st aperture CRT Specimen ..-.Third aperture ---Objective lens ---Scanning coil Second aperture Intermediate lens ----Final condenser lens -Final aperture ---Projection lens Shower of electrons Signal for electronic 。------Final aperture Specimen image formation on CRT Electron collector ....-Final image TRANSMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOPE ELECTRON MICROSCOPE Figure 4.13:Ray diagram of a transmission electron microscope and a scanning electron microscope 7
7 TEM (thin specimen) SEM (usual specimen)
TEM SEM 心 Tabletop SEM → 8
8
SEM covers a wide range of mag. Mag-500X 100μm ET■5.00kW Signal A=SE2 M的=5.00KX 日HT■6.00kV Signal A-SE2 WD=6mm Photo No648 WD=6 mm Photo No.650 EHT 5.00 KV Signal A=InLens Mag -100.00 KX Phato No.■643 gT■5.00kW Signal A=SE2 WD 6mm =20.00KX WD=6mm Photo No.639 9
SEM covers a wide range of mag. 9
光学显微镜和电子显微镜的区别 特征 种类 光学显微镜 透射电镜 扫描电镜 加速电压 40~300V 0.330kV 薏 光源 光 电子 电子 观察 大气中 真空中 真空中 Lens 玻璃 纯铁 纯铁 分辨率 5~0.1μm 0.2~0.1nm 40.4nm 器 浅(2~3μm) 深(500μm) 深(0.1~1m) X-Ray分析 不可 可能 可能 指 色彩 有 无 无 倍率 ~×1k ~×1500k ~×2000k 荟 观察视野 大 小 大 样品制作 容易 复杂 容易 样品大小 大 小 大 导电处理 不需要 不需要 需要（不需要） 观察像 透过像、表面像 透过像 表面像
光学显微镜和电子显微镜的区别 不 扫描电镜的发展背景