TEM样品制备技术 TEM样品制备在电子显微学研究工作中，起着至关重要 的作用，是非常精细的技术工作 A well-prepared specimen is half done！
TEM样品制备技术 TEM样品制备在电子显微学研究工作中，起着至关重要 的作用，是非常精细的技术工作 A well-prepared specimen is half done! 1
Specimens used in TEM Why should the specimens be thin? Electron transparency φ3mm Conventional TEM HRTEM/EELS Thickness(nm) <100 <20 v
Specimens used in TEM 2 3 mm Conventional TEM HRTEM/EELS Thickness (nm) <100 <20 Why should the specimens be thin? Electron transparency
概述 >样品厚度<100nm(原子序数低的样品可以稍厚一些)才适用 于TEM观察。 >在高真空条件下热稳定差（易分解，易挥发，易变性，易变 形)的样品一般不适合TEM观测。 TEM样品制备是一项关键技术，其重要性及工作量一般要占 整个测试工作的一半以上，甚至超过90%。 制样原则：1.不损害样品的微观结构；2.不危害电镜设备； 3.获得尽量大的可观测薄区；4.简单易行。 >对于生物及有机类样品，有专门的一套制样方法。 >准备TEM观测前最重要的是搞清楚样品的几个相关特性：是 否剧毒，是否有磁性，是否稳定，是否有放射性，根据情况 采取措施
概述 样品厚度<100nm（原子序数低的样品可以稍厚一些）才适用 于 TEM 观察。 在高真空条件下热稳定差（易分解，易挥发，易变性，易变 形）的样品一般不适合TEM观测。 TEM样品制备是一项关键技术，其重要性及工作量一般要占 整个测试工作的一半以上，甚至超过90％。 制样原则：1.不损害样品的微观结构；2.不危害电镜设备； 3.获得尽量大的可观测薄区；4.简单易行。 对于生物及有机类样品,有专门的一套制样方法。 准备TEM观测前最重要的是搞清楚样品的几个相关特性：是 否剧毒，是否有磁性，是否稳定，是否有放射性，根据情况 采取措施
TEM样品类型 常规制备方法： 化学减薄、电解双喷 1. 块状（平面）：用于普通微结构研究 机械减薄、粉碎研磨 2. 横截面样品：薄膜和界面的微结构研究 聚焦离子束、离子减薄 3.小块物体：粉末，纤维，纳米量级的材料 平面：表面观察，表面的均度，缺陷， 相分凝等。 生长面 截面：生长形态信 息，各层的原子结 构，界面结构，缺 陷等。 衬底
TEM样品类型 1. 块状（平面）：用于普通微结构研究 2. 横截面样品：薄膜和界面的微结构研究 3. 小块物体：粉末，纤维，纳米量级的材料 常规制备方法： 化学减薄、电解双喷 机械减薄、粉碎研磨 聚焦离子束、离子减薄
Bulk sample Thin film Fibers and powders Reduce to disk Look through: Support on (3-mm diameter plan view grid or film or smaller)with electron-transparent Look parallel Make bulk-like regions to surface: cross section Look at surface at glancing angle: reflection FIGURE 10.2.Flow chart summarizing the different sample geometries you may encounter