透射电子显微镜 TEM的结构与成像原理 主要部件的结构与工作原理 TEM主要性能指标及测定
透射电子显微镜 ◆ TEM的结构与成像原理 ◆ 主要部件的结构与工作原理 ◆ TEM主要性能指标及测定
电子束与固体样品作用时产生的信号 人射电子 背散射电子 特征X射线 二次电子 A 俄歇电子 试样 吸收电子 透射电子
电子束与固体样品作用时产生的信号
电子束与固体样品作用时产生的信号 1.吸收电子 入射电子进入样品，经多次弹性（非）散射，能量损 失殆尽，被样品吸收的电子 因i妇=io一(+is),吸收电子也可作SEM的测试 信号 2.透射电子 试样厚度小于入射电子的穿透厚度，从试样背面 射出；如试样厚度小于20nm,主要是弹性透射，成 像清晰，试样厚，出现非弹性透射电子，成像差.透 射电子是透射电镜的物理信号
电子束与固体样品作用时产生的信号 1.吸收电子 入射电子进入样品,经多次弹性(非)散射,能量损 失殆尽,被样品吸收的电子 因ia=i0－(ib+is ) ，吸收电子也可作SEM的测试 信号 2.透射电子 试样厚度小于入射电子的穿透厚度,从试样背面 射出;如试样厚度小于20nm,主要是弹性透射,成 像清晰,试样厚,出现非弹性透射电子,成像差.透 射电子是透射电镜的物理信号
电子束与固体样品作用时产生的信号 3.背射电子 弹性背射电子：与原子核作用，散射角大于90，无 能量损失. 非弹性背射电子：与核外电子作用，方向能量均改 变，散射角大于90° SEM利用背射电子反映试样表面形貌、微区成 分分布. 4.二次电子 入射电子与原子核外电子碰撞，将核外层电子激 发脱离原子核，成为自由电子.（二次电子） 由于其能量小.只能自表面逸出，所以SEM利用其 作形貌分析
电子束与固体样品作用时产生的信号 3.背射电子 弹性背射电子:与原子核作用,散射角大于900 ,无 能量损失. 非弹性背射电子:与核外电子作用,方向能量均改 变,散射角大于900 . SEM利用背射电子反映试样表面形貌、微区成 分分布. 4.二次电子 入射电子与原子核外电子碰撞,将核外层电子激 发脱离原子核,成为自由电子.(二次电子). 由于其能量小.只能自表面逸出,所以SEM利用其 作形貌分析
电子束与固体样品作用时产生的信号 5.特征X射线 入射电子具足够能量，将试样原子内层电子激发， 高能量层电子填充空位，能量差以特征X射线形 式辐射.其波长反映了照射区的成分特性，是电 子探针的物理信号 6.俄歇电子 俄歇电子自表面10A0内产生逸出，用于试样表层 成分分析
电子束与固体样品作用时产生的信号 5.特征X射线 入射电子具足够能量,将试样原子内层电子激发, 高能量层电子填充空位,能量差以特征X射线形 式辐射.其波长反映了照射区的成分特性,是电 子探针的物理信号 6.俄歇电子 俄歇电子自表面10A0内产生逸出,用于试样表层 成分分析