三、电子激发产生的其它现象 (自学) 「1.等离子体振荡 12.电声效应 13.电子感生电导 14.阴极荧光 16
16 三、电子激发产生的其它现象 （自学） l 1.等离子体振荡 l 2.电声效应 l 3.电子感生电导 l 4.阴极荧光
表3-1电子与材料相互作用产生的信号及相应的 分析方法 信号 方法或仪器 二次电子 SEM 扫描电子显微镜 LEED 低能电子衔射 弹性散射电子 RHEED 反射式高能电子衍射 电子 TEM 透射电子衍射（透射电镜） 非弹性背散射电子 EELS 电子能量损失谱 俄敢电子 AES 俄敢电子能谱 WDS 波谱 特征X射线 ED6 能谱 光 子 XRF X射线荧光 X射线的吸牧（或由吸收引起） CL 阴极荧光 元素 离子、原子 ESD 电子受漱解吸
17 表3-1 电子与材料相互作用产生的信号及相应的 分析方法
X射线衍射仪 电子探针仪 扫描电镜 X射线 二 次电子 韧致辐射 入射电子 背散射电子 阴极荧光 吸收电子 俄歇电子 试样 透射电子 衍射电子 俄歇电镜 透射电子显微镜 电子衍射仪
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电子显微分析方法的种类 m 透射电子显微镜(TEM) m Transmission electron microscopy m 扫描电子显微镜(SEM) m Scanning electron microscope m 电子探针X射线显微分析仪(EPA或 EPMA) m 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES) 19
19 电子显微分析方法的种类 m 透射电子显微镜(TEM) m Transmission electron microscopy m 扫描电子显微镜(SEM) m Scanning electron microscope m 电子探针X射线显微分析仪 (EPA或 EPMA) m 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)
透射电子显微镜(TE)的形式 高分辨电镜(HRTEM) 透射扫描电镜（STEM) 分析型电镜（AEM)等等。 n入射电子束（照明束)也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微 衍射。 20
20 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 n 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微 衍射。 透射电子显微镜(TEM) 的形式