2.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 「入射电子、二次电子和背散射电子在 固体中传播时不断经受非弹性散射， 相继两次非弹性散射之间电子所经过 的平均路程称为电子非弹性散射平均 自由程，用口表示。 丨与材料的组成、结构以及入射电子的 能量有关
11 2. 电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 l 入射电子、二次电子和背散射电子在 固体中传播时不断经受非弹性散射， 相继两次非弹性散射之间电子所经过 的平均路程称为电子非弹性散射平均 自由程，用 e表示。 l 与材料的组成、结构以及入射电子的 能量有关．
平均自由程 1对单元素固体， 538 +0.41VaE 1对于无机和有机固体材料， 2170 +0.72VaE E2 I式中：E-电子的能量(keV)；a-固体的单原 子层厚度(nm)
12 平均自由程 e l 对单元素固体， l 对于无机和有机固体材料， l 式中：E-电子的能量(keV)；a-固体的单原 子层厚度(nm)．
人射电子束点径 =E b】 (a) 入射电子产生的各种信息的深度和广度范围 (a)电子束散射区域形状（梨形作用体积） (b)重元素样品的电子束散射区域形状（半球形作用体积） 1-入射电子束；2-俄歇电子激发体积；3-样品表面；4-二次电子激 发体积；5-背散射电子激发体积；6-初级X射线激发体积 13
13 入射电子产生的各种信息的深度和广度范围 (a) 电子束散射区域形状(梨形作用体积) (b)重元素样品的电子束散射区域形状(半球形作用体积) 1-入射电子束；2-俄歇电子激发体积；3-样品表面；4-二次电子激 发体积；5-背散射电子激发体积；6-初级X射线激发体积
二次电子 在各向同性的固体中，而且在没有外场的 条件下，二次电子从它产生处向各个方向 传播的几率相同. 二次电子强度按指数规律ez.衰减，z是从 表面垂直向体内测量的距离。 8
14 二次电子 l 在各向同性的固体中，而且在没有外场的 条件下，二次电子从它产生处向各个方向 传播的几率相同． l 二次电子强度按指数规律e -z/λe衰减，z是从 表面垂直向体内测量的距离．
3.电子能谱 二次电子 弹性背做射电子 能量损失电子 俄欧电子 50 2000 E/eV 图3-5电子与固体作用产生的发射电子谱（示意图)
15 3. 电子能谱 图3-5 电子与固体作用产生的发射电子谱（示意图）