◆ Basic features of A Modern TEM 电子枪 82 试样架 EDS探测器 镜简 扫描像观察装置 观察室 操作面板 照相室 扫描像照相机 EELS探测器 21
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制面示意图 1一高压电规 中南太学 2一电子枪 D 2一阳极 照明系统 ☒区 4一束流偏转线圆 ☒☒ 5谈聚光镜 天学材料科学 8一电磁编转线圈 9一物镜光阀 10 10一物镜消像收线圈 1一物镜 成像系镜 12一选区光阑 恩 13一第一中间镜 14一第二中间镜 153 ☒☒✉ 15一第三中问镜 16一高分辨行射室 17一光学总微镜 南 18一观察窗 19荧光异 20—一发片盒 21一收片盒 22一照相室 22 科
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试样 物镜光澜 物镜 选区光闹 中间镜 -高分辩常 衍射试样： 投影镜 图2-8物镜极靴断面图 董光屏 P-形成磁场的两极，A一光阑；C一冷阱，S一校正象散的线： 图2-7成象透镜系统示意图 23
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(日本)坂田茂雄，《电子显微镜技术， 1988年09月第1版 市场上出售的物镜光阑有一种是0.1毫米厚的钼片，中心有 一个30~50微米的孔，由于电子束照射所引起的污染比较严重， 所以需要经常更换或清洗。常用的清洗方法是在真空中加热，但 它只能烧掉硅质油污，所以也不是一种十分彻底的方法，使用几 次以后仍然需要更换新的光阑。 据说由10微米厚金属片制成的物镜光阑，由于电子束照射， 温度会有所升高，污染比较少。目前这种光阑在市场上已有出 售，但是它也不是很令人满意的。另外从经济观点来看，是否合 算，还不清楚。 n从灯丝到显示屏约11.5m,中间有56级磁透镜， 磁场中心精度0.1毫米，仍需多级调整居中
（日本）坂田茂雄, 《电子显微镜技术, 1988年09月第1版 n 从灯丝到显示屏约1~1.5m，中间有5~6级磁透镜， 磁场中心精度0.1毫米，仍需多级调整居中。 24
2.4.4光阑 ■TEM三种主要光阑是聚光镜光阑、物镜光阑、选区 光阑。 Mo光阑片 光阑孔周围开口 光阑支架 常选用无磁性的金属 材料制作光阑。 © 25
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