wiboo 薄膜溅射沉 积装置的示 男射靶 意图 究放息区 阳径 通射气体 靶材是要溅射的材料,它作为阴极,相对于真空室内其他部 分处于负电位。阳极可以是接地的,也可以是浮动的
薄膜溅射沉 积装置的示 意图 ——— 靶材是要溅射的材料，它作为阴极, 相对于真空室内其他部 分处于负电位。阳极可以是接地的，也可以是浮动的
气体的直流放电现象 以适当压力(10~10Pa)的惰性气体(一般为Ar )作为放电气体 在正负电极间外加电压的作用下,电极间的气体 原子将被雪崩式地电离,形成可以独立运动的 Ar+离子和电子。电子加速飞向阳极,而带正电 荷的Ar+离子则在电场的作用下加速飞向作为阴 极的靶材 气体放电是物质溅射过程的基础
◼ 以适当压力（10-110Pa）的惰性气体（一般为Ar ）作为放电气体 ◼ 在正负电极间外加电压的作用下，电极间的气体 原子将被雪崩式地电离，形成可以独立运动的 Ar+离子和电子。电子加速飞向阳极，而带正电 荷的Ar+离子则在电场的作用下加速飞向作为阴 极的靶材 ◼ 气体放电是物质溅射过程的基础 气体的直流放电现象
体的直流放电模型 阳极 粮子 C等子体 离于 t 在阴阳两极间,由电动势为E的直流电源提供靶 电压V和靶电流,并以电阻R作为限流电阻
气体的直流放电模型 在阴阳两极间，由电动势为E的直流电源提供靶 电压V 和靶电流 I，并以电阻R 作为限流电阻
体放电的伏安特性曲线 le 南故电气棒含窗 阻击解 异定释光电 场生理 光電 热导者观汇控取 0 R/A 放电曲线分为: 汤生放电段(气体分子开始出现电离) 辉光放电段(产生大面积辉光等离子体) 弧光放电段(产生高密度弧光等离子体)
气体放电的伏安特性曲线 放电曲线分为： ◼ 汤生放电段（气体分子开始出现电离） ◼ 辉光放电段（产生大面积辉光等离子体） ◼ 弧光放电段（产生高密度弧光等离子体）
各种气体发生辉光放电的帕邢曲线 180 H 1200 空气 出 却900 C 2 3 P-d/Pam 只有当Pd取一定数值时,气体才最容易维持辉光放电
各种气体发生辉光放电的帕邢曲线 只有当 Pd 取一定数值时，气体才最容易维持辉光放电