33电容式传感器 331电容式传感器的工作原理 332电容式传感器主要性能 33.3电容式传感器的特点和设计要点 334电容式传感器等效电路 335电容式传感器测量电路 336电容式传感器的应用 337容栅式传感器 上一页 下一页
3.3 电容式传感器 3.3.1 电容式传感器的工作原理 3.3.2 电容式传感器主要性能 3.3.3 电容式传感器的特点和设计要点 3.3.4 电容式传感器等效电路 3.3.5 电容式传感器测量电路 3.3.6 电容式传感器的应用 3.3.7 容栅式传感器 返 回 上一页 下一页
3.3.1电容式传感器的工作原理 1.工作原理及类型 2.变极距型电容传感器 3.变面积型电容传感器 4.变介电常数型电容式传感器 上一页 下一页
3.3.1 电容式传感器的工作原理 1. 工作原理及类型 2. 变极距型电容传感器 3. 变面积型电容传感器 4. 变介电常数型电容式传感器 返 回 上一页 下一页
1.工作原理及类型 es 8as C δ 极板相对覆盖面积 δ—极板间距离; 相对介电常数 真空介电常数 电容极板间介质的介电常数 上一页 下一页
1. 工作原理及类型 C S S r = = 0 S ——极板相对覆盖面积； δ ——极板间距离； εr——相对介电常数； ε0——真空介电常数，； ε ——电容极板间介质的介电常数。 δ S ε 返 回 上一页 下一页
(c) (d) 变极距(6)型:(a)、(e) 变面积型)型:(b)、(c、(d)、(f)、(g)(h) 变介电常数(e)型:(i)~() 上一页 下一页
变极距(δ）型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h） 变介电常数(ε )型: （i）～(l) 返 回 上一页 下一页
2.变极距型电容传感器 初始电容c &8 s 若极距缩小△d △d C0(1+ 8.8 S C=Cn+△C= d-△d △d △d 非线性关系 d 若△d/d<1时,则式(3.3.3)可简化为 △d最大位移应小于间距的10 0d差动式改善其非线性 上一页 下一页
2. 变极距型电容传感器 d s C r 0 0 = 2 0 0 0 0 1 (1 ) 1 − + = − = − = + = d d d d C d d C d d s C C C r 非线性关系 若△d/d<<1时，则式（3.3.3）可简化为 d d C C C = 0 + 0 若极距缩小△d 最大位移应小于间距的1/10 差动式改善其非线性 初始电容 返 回 上一页 下一页