电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 问题1：看到的是物还是像 3.电子束与材料 的相互作用 问题2：放大倍数及分辨率 电子与物质作用 阿贝成像原理 1.光学显微分析 1)理论基础 ·光与材料的相互作用 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 6
6 问题1：看到的是物还是像 问题2：放大倍数及分辨率 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 l光与材料的相互作用 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用
电子与物质作用 一个点光源在像平面上的图像 >一个点光源在像平面上形成一个具有一定尺寸的中央 1.光学显微分析 亮斑及其周围明暗相间的圆环所组成的衍射光斑（埃 )理论基础 利斑/爱丽斑)。 2)构造和光路图 84% 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 电子与物质作用 阿贝成像原理 1.光学显微分析 样品 )理论基础 ■阿贝认为：对于周期性结构的物体 2)构造和光路图 光线通过细小的网孔时要发生衍射， 物 3)重要参数 2.电子波 衍射光线向各个方向传播，凡是光程 5 一后焦 3.电子束与材料 差满足6=k1(k=0,1,2,.的 的相互作用 互相加强。 同一方向的衍射光则成为平行光束。 7
7 Ø一个点光源在像平面上形成一个具有一定尺寸的中央 亮斑及其周围明暗相间的圆环所组成的衍射光斑（埃 利斑/爱丽斑）。 一个点光源在像平面上的图像 84％ 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 • 阿贝成像原理 n阿贝认为：对于周期性结构的物体， 光线通过细小的网孔时要发生衍射， 衍射光线向各个方向传播，凡是光程 差满足 (k=0，1，2，.)的， 互相加强。 n同一方向的衍射光则成为平行光束。 k 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用
电子与物质作用 阿贝成像原理 1.光学显微分析 平行光束通过物镜在后焦面上会 1)理论基础 2)构造和光路图 聚；形成衍射花样 3)重要参数 从同一物点发出的各级衍射光 2.电子波 产生相应的衍射斑点后继续传播 3.电子束与材料 的相互作用 在像平面上又相互干涉，形成像。 像面 电子与物质作用 阿贝成像原理 图中光线不周的膜色 表生自不周的物 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 f 的相互作用 阿贝成像原理 ■两次干涉作用： ■)背焦面（后焦面）形成衍射花样 四像平面形成放大的像
8 15 n平行光束通过物镜在后焦面上会 聚；形成衍射花样。 n从同一物点发出的各级衍射光， 产生相应的衍射斑点后继续传播， 在像平面上又相互干涉，形成像。 • 阿贝成像原理 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 频 谱 面 透 镜 像 面 阿贝成像原理 图中光线不同的颜色 • 阿贝成像原理 表示发自不同的物点. n两次干涉作用： nI) 背焦面（后焦面）形成衍射花样 II) 像平面形成放大的像 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用
电子与物质作用 物与像之间的相似性 1.光学显微分析 )理论基础 ■问题：物与像间的相似性由什么因素来决定？ 2)构造和光路图 ■实验： 3)重要参数 2.电子波 I)细金属网在透射光照射下，在物镜后焦面上产 3.电子束与材料 生初级干涉图像。 的相互作用 )在后焦面上用遮蔽的方法改变允许透光的区 域，改变衍射斑点数与方位。 电子与物质作用 物与像之间的相似性 1.光学显微分析 )理论基础 ■问题：物与像间的相似性由什么因素来决定？ 2)构造和光路图 ■实验： 3)重要参数 2.电子波 ）一个细金属网在显微镜透射光照射下，在物镜 3.电子束与材料 后面焦面上产生初级干涉图像。 的相互作用 )在后焦面上用遮蔽的方法改变允许透光的区 域，使这些区域上的衍射斑点数与方位都不一样， 并观察相应的最终图像
9 物与像之间的相似性 n 问题：物与像间的相似性由什么因素来决定? n 实验: I）细金属网在透射光照射下，在物镜后焦面上产 生初级干涉图像。 II）在后焦面上用遮蔽的方法改变允许透光的区 域，改变衍射斑点数与方位。 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 物与像之间的相似性 n 问题：物与像间的相似性由什么因素来决定? n 实验: I）一个细金属网在显微镜透射光照射下,在物镜 后面焦面上产生初级干涉图像。 II）在后焦面上用遮蔽的方法改变允许透光的区 域,使这些区域上的衍射斑点数与方位都不一样, 并观察相应的最终图像。 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用
电子与物质作用 初级干涉图像对最终图像的影响 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 所有衍射 包括中心斑点的一排衍射斑 只留中心斑点 斑点成像 点成像 电子与物质作用 物与像之间的相似性 1.光学显微分析 ■物像是由直射光和衍射光互相干涉形成的，不让 1)理论基础 衍射光通过就不能成像，参与成像的衍射斑点愈 2)构造和光路图 3)重要参数 多，则物像与物体的相似性愈好。 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 10
10 初级干涉图像对最终图像的影响 所有衍射 斑点成像 包括中心斑点的一排衍射斑 点成像 只留中心斑点 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用 n 物像是由直射光和衍射光互相干涉形成的，不让 衍射光通过就不能成像，参与成像的衍射斑点愈 多，则物像与物体的相似性愈好。 物与像之间的相似性 电子与物质作用 1.光学显微分析 1)理论基础 2)构造和光路图 3)重要参数 2.电子波 3.电子束与材料 的相互作用