二、电子与固体作用产生的信号①1.电子与固体作用产生的信号①2.电子非弹性散射平均自由程和信息深度03.电子能谱11
11 二、电子与固体作用产生的信号 Ø1.电子与固体作用产生的信号 Ø2.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 Ø3.电子能谱
1．电子与固体作用产生的信号表面元素发射的总强度Ie背散射电子流X射线二次电子流IIA样品吸收电流透射电子流图3-3入射电子束与固体作用产生的发射现象12
12 1. 电子与固体作用产生的信号 图3-3 入射电子束与固体作用产生的发射现象 背散射电子流 二次电子流 X射线 表面元素发射的总强度 透射电子流 样品吸收电流