西安交通大学CIAM JIAOTONG UNIVERS内容提要1.电子显微技术2.扫描探针显微技术3.光谱分析技术4.X射线衍射技术和X射线光电子能谱2
内容提要 1.电子显微技术 2 2.扫描探针显微技术 3.光谱分析技术 4.X射线衍射技术和X射线光电子能谱
西安交通大学CIAM JIAOTONG UNIVERS内容提要1.电子显微技术2.扫描探针显微技术3.光谱分析技术4.X射线衍射技术和X射线光电子能谱3
内容提要 1.电子显微技术 3 2.扫描探针显微技术 3.光谱分析技术 4.X射线衍射技术和X射线光电子能谱
西安文通大学IAMJIAOTONOUNIVE1.电子显微技术1.1电子显微镜的基本概述电子显微镜，简称电镜，英文名ElectronMicroscope（简称EM），电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微也能与X物质结构：扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析4
1.电子显微技术 4 1.1 电子显微镜的基本概述 电子显微镜，简称电镜，英文名Electron Microscope（简称 EM），电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。 电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显 微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。 透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微 物质结构；扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，也能与X 射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析
西安文通大泽IAMJIAOTONOUNIVE1.电子显微技术1.2透射电子显微镜透射电子显微镜（TransmissionElectronMicroscope，简称TEM)，可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并耳电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越卢斯卡和克诺尔制造的第一台透射电镜及设计图纸高波长越短。TEM的分辨力可达0.2nm。5
5 1.2透射电子显微镜 1.电子显微技术 透 射 电 子 显 微 镜 (Transmission Electron Microscope，简称TEM)，可以 看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um 的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超 微结构。要想看清这些结构，就必须选择波 长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。 1932年Ruska发明了以电子束为光源的透 射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和 紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电 子束的电压平方根成反比，也就是说电压越 高波长越短。TEM的分辨力可达0.2nm。 卢斯卡和克诺尔制造的第一台透射电镜及设计图纸
西安文通大学CIAMJIAOTONGUNIVERS1.电子显微技术1.2.1透射电子显微镜的结构光源电子枪透射电镜电子光学系统的基聚光优I聚光镜本结构、原理与光学显微镜相似诚样试样物镜包括三个部分：物镜中间像照明系统！中闯像目镜投彩镜成像放大系统观察记录系统毛玻璃观现察屏熙相底板光学显微镜和电子显微镜光路示意图6
6 1.2.1透射电子显微镜的结构 1.电子显微技术 透射电镜电子光学系统的基 本结构、原理与光学显微镜相似 包括三个部分 ： 光学显微镜和电子显微镜光路示意图 照明系统 成像放大系统 观察记录系统