15.3 激光准直寐合系统没计 15.3.1高精度激光准直仪系统设计方案 15.3.2激光准直光学系统设计 153.3信号处理电路设计 15.3.4数据采集处理系统
15.3 激光准直综合系统设计 15.3.1 高精度激光准直仪系统设计方案 15.3.2 激光准直光学系统设计 15.3.3 信号处理电路设计 15.3.4 数据采集处理系统
15.3.1高精度激光准直仪系统设计方案 PSD光靶 激光器 光学 双光束 光电信号 数据采集 系统 消漂移 调理电路 处理系统 计算机 电源 激光 准直的平面 系统设计方案
15.3.1 高精度激光准直仪系统设计方案 准直的平面 激光器 光学 双光束 光电信号 数据采集 系统 消漂移 调理电路 处理系统 电源 激光 PSD光靶 系统设计方案 计算机
153.2 激光准直系统的工作过程 a激光准直仪系统的工作过程是：以He-Ne激光 器发出的激光光线作为直线度的基准直线，随 着PSD光靶在被测件上的移动，PSD就将入射 光点的位置信号转变为电流信号，经调理电路 后送入数据采集系统，利用直线度测评软件快 速评判出直线度误差并提供图形文件、文本文 件、EXCEL文件等输出形式
15.3.2 激光准直系统的工作过程 ◼ 激光准直仪系统的工作过程是：以He-Ne激光 器发出的激光光线作为直线度的基准直线，随 着PSD光靶在被测件上的移动，PSD就将入射 光点的位置信号转变为电流信号，经调理电路 后送入数据采集系统，利用直线度测评软件快 速评判出直线度误差并提供图形文件、文本文 件、EXCEL文件等输出形式
15.3.3 激光准直系统主要部分设计 (1)光源激光发射系统设计 激光作为基准直线使用时由于安装误差使激光线存在 轻微的左右、上下移动和两个方向的旋转，因此安放激光 器的支架必须要有四个自由度的微调机构。如图所示，螺 钉组1用来调节激光上下、左右移动(3mm),螺钉组2用 来调节激光线的倾角与偏航
15.3.3 激光准直系统主要部分设计 （1）光源-激光发射系统设计 激光作为基准直线使用时由于安装误差使激光线存在 轻微的左右、上下移动和两个方向的旋转，因此安放激光 器的支架必须要有四个自由度的微调机构。如图所示，螺 钉组1用来调节激光上下、左右移动（3mm），螺钉组2用 来调节激光线的倾角与偏航
(2)光靶-光电接收器件选取 由于光电位置敏感器件(PSD)适应位置、位移等精确实时测量的一 种新型半导体光电位置敏感器件，它有响应速度快、位置分辨率高、可 同时检测位置和光强、位置输出信号与光强无关，只对光的能量中心敏 感、频谱响应宽、响应范围从300到1100nm、外围电路简单、信号检测方 便等。 由于二维PSD传感器有表面分流型、两面分流型和改进表面分流型三 种类型，而改进表面分流型传感器既克服了表面分流型传感器非线性误 差大的缺点又保留了暗电流小，加反偏容易的优点，因此，在本综合设 计中选择21×21mm改进表面分流型二维PSD(型号：W203)作为接收 光学微開架激光器 PSD光靶 图 光学微调架
图 光学微调架 的改进表面分流型二维PSD（型号：W203）作为接收探测器。 （2）光靶-光电接收器件选取 由于光电位置敏感器件（PSD）适应位置、位移等精确实时测量的一 种新型半导体光电位置敏感器件，它有响应速度快、位置分辨率高、可 同时检测位置和光强、位置输出信号与光强无关，只对光的能量中心敏 感、频谱响应宽、响应范围从300到1100nm、外围电路简单、信号检测方 便等。 由于二维PSD传感器有表面分流型、两面分流型和改进表面分流型三 种类型，而改进表面分流型传感器既克服了表面分流型传感器非线性误 差大的缺点又保留了暗电流小，加反偏容易的优点，因此，在本综合设 计中选择21×21mm改进表面分流型二维PSD（型号：W203）作为接收 探测器