13.2光栅传感器 光精角感慕 。13.2.1光栅传感器的结构 013.2.2 莫尔条纹形成的原理 。13.2.3莫尔条纹技术的特点 。13.2.4光栅的光路 。13.2.5辨向原理 ●13.2.6细分技术
13.2 光栅传感器 ⚫ 13.2.1 光栅传感器的结构 ⚫ 13.2.2 莫尔条纹形成的原理 ⚫ 13.2.3 莫尔条纹技术的特点 ⚫ 13.2.4 光栅的光路 ⚫ 13.2.5 辨向原理 ⚫ 13.2.6 细分技术 光栅 光栅角位移传感器
13.2.1光栅传感器的结构 光栅传感器由： 光源 光源、透镜、 a 透镜 光栅副（主光 栅和指示光 主光栅 栅)、光电接 \透镜 收元件组成。 指示光栅 光电元件 返回
13.2.1 光栅传感器的结构 光栅传感器由： 光源、透镜、 光栅副（主光 栅和指示光 栅）、光电接 收元件组成。 返 回 上一页 下一页
光栅传感器光源： 钨丝灯泡特点： (1)输出功率较大，工作范围较宽(-40℃到+130℃)， (2)它与光电元件相组合的转换效率低： (3)在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。 。半导体发光器件： (1)转换效率高， (2)响应时间快。 如砷化镓发光二极管，与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达 30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十s,可以使光 源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。 返回 上一页 下一
光栅传感器光源： ⚫ 钨丝灯泡特点： （1）输出功率较大，工作范围较宽（-40℃到+130℃）， （2）它与光电元件相组合的转换效率低； （3）在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。 ⚫ 半导体发光器件: （1）转换效率高， （2）响应时间快。 如砷化镓发光二极管，与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达 30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns，可以使光 源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。 返 回 上一页 下一页
光栅副：指示光栅+主光栅 (a)主光栅 1放大 I (b)指示光栅 a+b=W称为光栅的栅距（或光栅常数） 通常情况下，a=b=W/2 返 上一页 下一项
光栅副：指示光栅＋主光栅 a+b=W称为光栅的栅距（或光栅常数） 通常情况下，a=b=W/2 返 回 上一页 下一页
光电元件 ·包括：光电池和光敏三极管等部分。 ● 在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源 相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放 大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 返回上一页
光电元件 ⚫ 包括：光电池和光敏三极管等部分。 ⚫ 在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源 相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放 大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 返 回 上一页 下一页