今二、成像原理 透射电子显微镜中,物镜、中间镜,总的 放大倍数就是各个透镜倍率的乘积 M=Mo Mi. Mp 式中:M-物镜放大倍率,数值在50 10范围;Mi-中间镜放大倍率,数值在0-20 范围:Mp-投影镜放大倍率,数值在100-150 范围,总的放大倍率M在1000-200,000倍内连 续变化
❖ 二、成像原理 ❖ 透射电子显微镜中，物镜、中间镜，总的 放大倍数就是各个透镜倍率的乘积。 ❖ M = M0 .Mi.Mp ❖ 式中：M0 ---物镜放大倍率，数值在50- 100范围；Mi----中间镜放大倍率，数值在0-20 范围；Mp---投影镜放大倍率，数值在100-150 范围，总的放大倍率M在1000-200,000倍内连 续变化。 ❖
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三、性能与制样 今透射电子显微镜利用穿透样品的电子束 成像,这就要求被观察的样品对入射电子束 是“透明”的。 令对于透射电镜常用的加速电压为100Kv,因 此适宜的样品厚度约200纳米。 目前,样品可以通过两种方法获得, 是表面复型技术,二是样品减薄技术
❖ 三、性能与制样 ❖ 透射电子显微镜利用穿透样品的电子束 成像，这就要求被观察的样品对入射电子束 是“透明”的。 ❖ 对于透射电镜常用的加速电压为100KV，因 此适宜的样品厚度约200纳米。 ❖ 目前，样品可以通过两种方法获得，一 是表面复型技术，二是样品减薄技术。 ❖
1表面复型技术 所谓复型技术就是把样品表面的显微组织浮雕复 制到一种很薄的膜上,然后把复制膜(叫做“复型”) 放到透射电镜中去观察分析,这样才使透射电镜应用 于显示材料的显微组织。复型膜必须满足以下特点: 1)本身是“非晶体的,在高倍(如十万倍)成像时, 也不显示其本身的任何结构细节。 2)对电子束足够透明(物质原子序数低) 令3)具有足够的强度和刚度,在复制过程中不致破裂或 畸变 4)具有良好的导电性,耐电子束轰击; 5)是分子尺寸较小的物质--分辨率较高。 令常用的复型材料是塑料和真空蒸发沉积碳膜,碳复型 比塑料复型要好
❖ 1、表面复型技术 ❖ 所谓复型技术就是把样品表面的显微组织浮雕复 制到一种很薄的膜上，然后把复制膜（叫做“复型”） 放到透射电镜中去观察分析，这样才使透射电镜应用 于显示材料的显微组织。复型膜必须满足以下特点： ❖ 1）本身是“非晶体的，在高倍（如十万倍）成像时， 也不显示其本身的任何结构细节。 ❖ 2）对电子束足够透明（物质原子序数低）； ❖ 3）具有足够的强度和刚度，在复制过程中不致破裂或 畸变； ❖ 4）具有良好的导电性，耐电子束轰击； ❖ 5）是分子尺寸较小的物质---分辨率较高。 ❖ 常用的复型材料是塑料和真空蒸发沉积碳膜，碳复型 比塑料复型要好。 ❖
小2、样品减薄技术 复型技术只能对样品表面性貌进行复制,不能 揭示晶体内部组织结构信息。 样品减薄技术可以克服上述缺点,它的特点: 1)可以最有效地发挥电镜的高分辨率本领 2)能够观察金属及其合金的内部结构和晶体缺陷 并能对同一微区进行衍衬成像及电子衍射研究,把 形貌信息与结构信息联系起来 令3)能够进行动态观察,研究在变温情况下相变的 生核长大过程,以及位错等晶体缺陷在引力下的运 动与交互作用
❖ 2、样品减薄技术 ❖ 复型技术只能对样品表面性貌进行复制，不能 揭示晶体内部组织结构信息。 样品减薄技术可以克服上述缺点， 它的特点： ❖ 1）可以最有效地发挥电镜的高分辨率本领； ❖ 2）能够观察金属及其合金的内部结构和晶体缺陷， 并能对同一微区进行衍衬成像及电子衍射研究，把 形貌信息与结构信息联系起来； ❖ 3）能够进行动态观察，研究在变温情况下相变的 生核长大过程，以及位错等晶体缺陷在引力下的运 动与交互作用