多级片型容栅传感器 动尺一系列发射电极片,宽度间隔 定尺-一系列接收电极片,宽度间隔均为4 相对移动--电容周期变化--脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联
多级片型容栅传感器 动尺---一系列发射电极片,宽度间隔 l0 定尺---一系列接收电极片,宽度间隔均为 4 l0 相对移动---电容周期变化---脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联
多级片型容栅传感器 动尺 2定尺 4 1动尺 VVVV K VV VsVI 1 2定尺 输出
多级片型容栅传感器
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