产生的信号 入射电子束 检测器 一次电子 闪烁体光电倍增管 反射电子 俄欧分光器 俄歌电子 照相胶片 特征X一射线 X一射线分光光器(WDx,EDX) 连续X一射线 光学显微镜 阴极荧光 固体表面 二次电子E<50eV)放出 CL=I Z=L cos 0,Z=L(cos'0) 反射电子” 母 一次激发 (X一射线 荧光激发 特征连续和 后方散乱电子 透过电子 样品电流 X一射线分辨率 Rx 6
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30kV 0.14回 样品：前U) P=1g.】t/cm3 样品：绍西 p=2.71g/c B:抑遮电西为30kV时 电于東的扩散区蚊（因中 36华如及0.14m为扩散距离、 8.2m及2.3m为电子束作 用范国的大小))
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3.景深 0 指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个 能力范围。 0 SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射角， 其景深为： 入射电子束 入射电子束 样品平面1 F= 》 样品平面1 样品平面2一 tan b b 样品平面2 B:入射半角 d0:电子束直径 28 图6-1G扫描电子显微镜景深与束发散度的关系
28 3. 景深 o 指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个 能力范围。 o SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射角， 其景深为： β：入射半角 d0：电子束直径
表10-2扫描电子显微镜景深 景 深 效大倍数 分辨率 视 场 光学显徽镜 扫描电镜 (OM) (SEM0） 1 0,2mm 100mm 10 0.02mm 10 mm 1~10 mm 100 2.gm 1mm 0.1 mm 0.1~1mm 1000 0.2m 0.1mm 1 10-~100m 10000 20n 10m 约1m 100030 2 nm 14m 29
29 表10-2 扫描电子显微镜景深
(a) (6) 图32多孔硅的两种图像比较 (a)光学显微镜图像(6)扫描电子显微镜图像 光学显微镜下图象景深很小，只能看清硅柱在某一高度附近的形貌，成 像质量差。 电子扫描显微镜下图象景深很大，多孔硅不同高度下都能看到清晰的 像，分辨率高，能得到完整的多孔硅形貌像。 30
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