定量的不确定性来源定量精确度取决于几个参数，如信噪比、峰强度测定、相对灵敏度因子的精确度、传输函数修正、表面的体均匀性、电子IMFP的能量相关修正、样品在分析过程中的退化度，样品表面污染层的存在等。峰强度的测定？如何测量峰面积，能量窗口的选择，包括什么，什么形状的背底等灵敏度因子数据库的精确度？不同的数据库给出不同的结果一哪个更好？传输函数的精确度？对特定仪器传输函数定义的准确程度如何此外元素化学态不同
定量的不确定性来源 ⚫ 定量精确度取决于几个参数，如信噪比、峰强度测定、 相对灵敏度因子的精确度、传输函数修正、表面的体 均匀性、电子IMFP的能量相关修正、样品在分析过程 中的退化度，样品表面污染层的存在等。 ⚫ 峰强度的测定? 如何测量峰面积, 能量窗口的选择, 包括什么, 什么 形状的背底等 ⚫ 灵敏度因子数据库的精确度? 不同的数据库给出不同的结果 – 哪个更好? ⚫ 传输函数的精确度? 对特定仪器传输函数定义的准确程度如何 ⚫ 此外元素化学态不同
6.1.4、一个定量分析例子一材料的全谱扫描检测到只有碳和氧存在，高分辨C1s和01s扫描表明分别存在4个和3个子峰。用下面提供的数据计算C/O原子比和每一组分在样品中存在的百分比。同时提出一个关于此样品的化学结构，并给出对应每个子峰的自恰指认。激发源使用AIKαX射线。结合能值已对样品荷电进行过校正。C1s和01s的原子灵敏度因子分别为0.296和0.711。I.UUE+U4C1sScanC1s-CH谱峰峰面积EB (eV)6.00E+04C1s285.020005.00E+04C1s286.64.00E+04siurC 1s289.0CIs=OOH1033.00E+04C1s291.6*2.00E+0401s1600532.1CisSa1.00E+04168501s533.70.00E+0029429229028828628428228001s538.7Binding Energy (eV)
一材料的全谱扫描检测到只有碳和氧存在，高分辨C 1s和O 1s扫描表明分别存在4个和3个子峰。用下面提供的数据计算 C/O原子比和每一组分在样品中存在的百分比。同时提出一 个关于此样品的化学结构，并给出对应每个子峰的自恰指认。 激发源使用Al K X射线。结合能值已对样品荷电进行过校 正。C 1s和O 1s的原子灵敏度因子分别为0.296和0.711。 6.1.4、一个定量分析例子 谱峰 EB (eV) 峰面积 C 1s 285.0 2000 C 1s 286.6 C 1s 289.0 C 1s 291.6 O 1s 532.1 1600 O 1s 533.7 1685 O 1s 538.7 * *