(1)、原子百分数的计算归一化面积（N）由谱峰面积（I）来计算NA = IA / S:因而样品中任一元素的相对原子浓度由下式算出：N2x 100CZN
归一化面积(NA)由谱峰面积(IA)来计算 NA = IA / Si 因而样品中任一元素的相对原子浓度由下式算出: (1)、原子百分数的计算 100 A A i i N C N =
(2)、灵敏度因子灵敏度因子（归一化因子）包括下面几项：X射线电离截面项（特定跃迁将产生多少光电子）分析深度项(并入1值中)传输函数项（谱仪对特定动能电子检测的能力）不同仪器得出的灵敏度因子之间的归一化（比如 CMA和HAS之间）
(2)、灵敏度因子 灵敏度因子(归一化因子)包括下面几项: X射线电离截面项 (特定跃迁将产生多少光电子) 分析深度项 (并入l值中) 传输函数项 (谱仪对特定动能电子检测的能力) 不同仪器得出的灵敏度因子之间的归一化 (比如 CMA和HAS之间 )
元素的相对灵敏度因子12103d8s4fC2p4d1s2LiBNFNaAIPCIKScVMCoCuGAsBrRbYNbTcRhAgInSbICsLaPrPEuTbHoTLuTaReIrAuTIBiBeCONeMSiSArCaTiCrFeNiZnGSeKrSrZrMRuPdCdSnTeXeBaCeNdSGDyErYbHf WOsPtHgPbElementalSymbol
元素的相对灵敏度因子 0 2 4 6 8 1 0 1 2 Elemental Symbol Relative Sensitivity L i B e B C N O F Ne Na M A l S i P S Cl A r K Ca S c T i V Cr M Fe Co Ni Cu Zn G G A s S e B r K r Rb S r Y Zr Nb M T c Ru Rh P d A g Cd I n S n S b T e I X e Cs B a L a Ce P r Nd P S E u G T b Dy Ho E r T Y b L u Hf T a W Re O s I r P t A u Hg T l P b B i 1s 2p 3d 4d 4f
(3)、原子浓度的计算方法由两不同的数据库计算的归一化面积为：ScofieldNA=PeakArea/SF(Scofield)xE0.6xTFWagnerNA=PeakArea/SF(Wagner)xExTF因而给出原子浓度：Nx100= At% ZN
由两不同的数据库计算的归一化面积为: Scofield NA = Peak Area/SF(Scofield) x E0.6 x TF Wagner NA = Peak Area/SF(Wagner) x E x TF 因而给出原子浓度: (3)、原子浓度的计算方法 At% 100 A A A i i N C N = =
6.1.3、定量精确度和误差来源使用原子灵敏度因子法进行定量分析：在优化条件下，对每个主峰从XPS主峰计算的原原字首签数值的定量精确度为，90-95%。若使用高平质量控制规程，精确度能进一步改善。在常规工作条件下，材料奏面混念有污染物，报告的原子首分数值定量精度为80%~90%。以XPS弱峰、（其峰强度为最强峰的10-20%）的定量精确度是基真值的60-80%，并侬赖于改善信噪比的努穷程度。定量精密度（重复测量并得到相同结果的能力）是芷确报告定量结果的基本考量。95%的置信度是奇认为肴效的。XPS在一般情形下定量精密度优于98%。具有最大原子灵敏度因子的最强菇煲量改囊类耗曼薇履和馨度因
6.1.3、定量精确度和误差来源 使用原子灵敏度因子法进行定量分析： 在优化条件下，对每个主峰从ＸＰＳ主峰计算的 原子百分数值的定量精确度为 90-95%。若使用高 水平质量控制规程，精确度能进一步改善。 在常规工作条件下，材料表面混合有污染物，报 告的原子百分数值定量精确度为80%~90%。 以XPS弱峰（其峰强度为最强峰的10-20%）的定量 精确度是其真值的 60-80%，并依赖于改善信噪比 的努力程度。 定量精密度（重复测量并得到相同结果的能力） 是正确报告定量结果的基本考量。95%的置信度是 可认为有效的。XPS在一般情形下定量精密度优于 98%。 对于任一元素选择具有最大原子灵敏度因子的最 强峰定量以最大化检测灵敏度和精确度