北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第一讲 引言、薄膜技术的真空技术基础 Fundamentals of vacuum technology in thin films techniques

光电薄膜材料

光电薄膜材料

微电子技术中的薄膜材料: MOSFET Interconnect Thick metal Thin gate Polysilicon oxIdes oxIde N+ N+ Heavily doped region P-type Substrate

P-type Substrate 微电子技术中的薄膜材料: MOSFET N + N + Thin gate Polysilicon oxide Thick oxides Interconnect metal Heavily doped region

磁存储技术中的薄膜材料 磁头与磁记录介质 GM积tode时g Readwrite nuac cnen poltto tHEan magne Mputu neon earbon CutE M Disk austro

磁存储技术中的薄膜材料: 磁头与磁记录介质

微机电系统中的薄膜材料 微型反射镜组

微机电系统中的薄膜材料: 微型反射镜组

Thin films materials may include ◆ Metals:A,Cu,Au ◆ Glass:siOx,SiNx ◆ Ceramics:YBCO,PZT ●●●●●● Semiconductors: Si, GaAs ◆ Polymers:PE,PMMA

◆ Metals: Al, Cu, Au …… ◆ Glass: SiOx, SiNx …… ◆ Ceramics: YBCO, PZT …… ◆ Semiconductors: Si, GaAs …… ◆ Polymers: PE, PMMA …… Thin films materials may include: