反射型椭偏仪的基本原理是,用一束椭圆 偏振光做为探针照射到样品上,由于样品对 入射光中平行于入射面的电场分量(以下简 称P分量)和垂直于入射面的电场分量(以 下简称$分量)有不同的反射、透射系数, 因此从样品上出射的光,其偏振状态相对于 入射光要发生变化
反射型椭偏仪的基本原理是,用一束椭圆 偏振光做为探针照射到样品上,由于样品对 入射光中平行于入射面的电场分量(以下简 称 P 分量)和垂直于入射面的电场分量(以 下简称S分量)有不同的反射、透射系数, 因此从样品上出射的光,其偏振状态相对于 入射光要发生变化
实验装置 激光器 光电管 起偏器 λ/4玻片 检偏器 样品 工作台 椭偏仪结构图
实验装置 椭偏仪结构图
实验内容 测量K9玻璃衬底上薄膜厚度和折射率 1.用自准直法调好分光计的方法,使望远镜和平行光管共 轴并与载物台平行。 2.分光计度盘的调整:使游标与刻度盘零线置适当位置, 当望远镜转过一定角度时不致无法读数。 3.检偏器读数头位置的调整和固定。 4.起偏器读数头位置的调整与固定 5.1/4波片零位的调整 6将镀有薄膜的被测样品,放在载物台的中央,旋转载物 台使达到预定的入射角700,即望远镜转过400,并使反 射光在白屏上形成一亮点。 7为了尽量减少系统误差,采用四点测量
实验内容 测量K9玻璃衬底上薄膜厚度和折射率 1. 用自准直法调好分光计的方法,使望远镜和平行光管共 轴并与载物台平行。 2. 分光计度盘的调整:使游标与刻度盘零线置适当位置, 当望远镜转过一定角度时不致无法读数。 3. 检偏器读数头位置的调整和固定。 4. 起偏器读数头位置的调整与固定 5. 1/4波片零位的调整 6.将镀有薄膜的被测样品,放在载物台的中央,旋转载物 台使达到预定的入射角700,即望远镜转过400,并使反 射光在白屏上形成一亮点。 7.为了尽量减少系统误差,采用四点测量
思考题 1.1/4波片的作用是什么? 2.椭偏仪测量薄膜厚度的基本原理是什么? 3.用反射型椭偏仪测量薄膜厚度时,对样品 的制备有什么要求? 4.为了使实验更加便于操作及测量的准确性, 你认为该实验中哪些地方需要改进?
思 考 题 1. 1/4波片的作用是什么? 2. 椭偏仪测量薄膜厚度的基本原理是什么? 3. 用反射型椭偏仪测量薄膜厚度时,对样品 的制备有什么要求? 4. 为了使实验更加便于操作及测量的准确性, 你认为该实验中哪些地方需要改进?
原子光谱 实验三塞曼效应
原 子 光 谱 实验 三 塞 曼 效 应