化合物的热蒸发—GaAs的情况 T 5 15115135 10 化合物也多是以单个原子、但也有可能以分子的状 态蒸发进入气相。这取决于原子间结合力的强弱
化合物的热蒸发⎯⎯GaAs的情况 化合物也多是以单个原子、但也有可能以分子的状 态蒸发进入气相。这取决于原子间结合力的强弱
化合物的热蒸发 ◆在化合物的蒸发过程中,蒸发出来的物质 蒸气可能具有完全不同于其固态源物质的 七学成分,如SO2→SiOx,x=0~2。 ◆另外,气相分子还可能发生一系列的化合 与分解过程。 ◆这些现象的直接后果是沉积后的薄膜成分 可能偏离化合物原来化合物的化学组成
化合物的热蒸发 ◆ 在化合物的蒸发过程中，蒸发出来的物质 蒸气可能具有完全不同于其固态源物质的 化学成分，如SiO2 SiOx, x=02。 ◆ 另外，气相分子还可能发生一系列的化合 与分解过程。 ◆ 这些现象的直接后果是沉积后的薄膜成分 可能偏离化合物原来化合物的化学组成!
化合物热蒸发的微观过程 过程类型 化学反应 实例 注释 无分解蒸发 MX(S或1)→MX(g)Si0O2B2O3,薄膜成分与原 AIN. CaF2始成分相同 固态或液态分解蒸发MX(s)→M(s)(1/2)X2(g)Ag2S,AgSe沉积物化学成 MX(s)→M(1)+(1m)Xn(g)ⅢV化合物分发生偏离 需使用独立的 蒸发源 气态分解蒸发 硫属化合物 X(s)→M(g)+(1/2)X2(g)Cds,CdSe同上 ■氧化物 MO2(s)→MO(g)+(1/2)O2SiO2,TiO2沉积物缺氧; 可在氧气氛中 沉积
化合物热蒸发的微观过程 ⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯ 过程类型 化学反应 实例 注释 ⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯ 无分解蒸发 MX(s或l)MX(g) SiO2 , B2O3 , 薄膜成分与原 AlN, CaF2 始成分相同 固态或液态分解蒸发 MX(s)M(s)+(1/2)X2 (g) Ag2S, Ag2Se 沉积物化学成 MX(s)M(l)+(1/n)Xn (g) III-V化合物 分发生偏离 需使用独立的 蒸发源 气态分解蒸发 ◼ 硫属化合物 MX(s)M(g)+(1/2)X2 (g) CdS, CdSe 同上 ◼ 氧化物 MO2 (s)MO(g)+(1/2)O2 SiO2 , TiO2 沉积物缺氧； 可在氧气氛中 沉积 ⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯⎯
合金中各元素的热蒸发 口合金中原子间的结合力小于在化合物中不 同原子间的结合力。 口因而,合金中各元素的蒸发过程可以被近 似视为是各元素相互独立的蒸发过程,就 像它们在纯元素蒸发时的情况一样。 口即使如此,合金在蒸发和沉积过程中也 生成分的偏差
合金中各元素的热蒸发 合金中原子间的结合力小于在化合物中不 同原子间的结合力。 因而，合金中各元素的蒸发过程可以被近 似视为是各元素相互独立的蒸发过程，就 像它们在纯元素蒸发时的情况一样。 即使如此，合金在蒸发和沉积过程中也会 产生成分的偏差