3.景深 0 指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个 能力范围。 0 SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射角， 其景深为： 入射电子束 入射电子束 F=_do 样品平面1 样品平面1 b 样品平面2 tan b 样品平面 B:入射半角 d:电子束直径 6 图6-1G扫描电子显微镜景深与束发散度的关系
26 3. 景深 o 指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个 能力范围。 o SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射角， 其景深为： β：入射半角 d0：电子束直径
表10-2扫描电子显微镜景深 景 深 效大倍数 分辨宰 视 场 光学显徽钱 扫描电镜 (OM) (SEM) 1 0.2mm 100mm 10 0.02mm 10 mm 1~10 mm 100 2 gsm 1mm 0.1 mm 0.1~1mm 1000 02m 0.1mm 1 10~100m 10000 20 nm 10 gm 约1m 100000 2 n 14m 27
27 表10-2扫描电子显微镜景深
(a) (6) 图32多孔硅的两种图像比较 (a)光学显微镜图像(b)扫描电子显微镜图像 光学显微镜下图象景深很小，只能看清硅柱在某一高度附近的形貌，成 像质量差。 电子扫描显微镜下图象景深很大，多孔硅不同高度下都能看到清晰的 像，分辨率高， 能得到完整的多孔硅形貌像。 28
28
SEM的成像 圖素(picture element) 多 電子束<圓素 图素 電子束=圖素 電子束 電子束>圖素 電子束大小奥圖素大小之比較
29
SEM的成像 20um 1um 05um |1l.I9(a)到(d)：破裂面的影像说明無意義之放大作用的效果。(a)到(c) 30 颜示如微的讯息而在(d删棱燥燮模糊了。電子能量高15kV。四
30