2.分辨率 主要影响因素有：①扫描电子束斑直径；②入射电 子束在样品中的扩展效应；③操作方式及其所用的调 制信号；④信号噪音比；⑤杂散磁场；⑥机械振动 将引起束斑漂流等，使分辨率下降。 信号二次电子背散射电子收收电子特红X射线俄歇电子 分辨率5~10 50~200 100~1000100~10005~10 (nm) 21
21 2. 分辨率 信 号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 5～10 50～200 100～1000 100～1000 5～10 （nm） 主要影响因素有： ①扫描电子束斑直径 ； ②入射电 子束在样品中的扩展效应； ③操作方式及其所用的调 制信号； ④信号噪音比； ⑤杂散磁场； ⑥机械振动 将引起束斑漂流等，使分辨率下降
①扫描电子束斑直径 )入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的 极限。如束斑为10nm,那么分辨本领最高也 是10nm。 一般配备热阴极电子枪的扫描电镜的最小束 斑直径可缩小到6nm,相应的仪器最高分辨本 领也就在6nm左右。 0 利用场发射电子枪可使束斑直径小于3nm,相 应的仪器最高分辨本领也就可达3nm。 22
22 ①扫描电子束斑直径 o 入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的 极限。如束斑为10nm，那么分辨本领最高也 是10nm。 o 一般配备热阴极电子枪的扫描电镜的最小束 斑直径可缩小到6nm，相应的仪器最高分辨本 领也就在6nm左右。 o 利用场发射电子枪可使束斑直径小于3nm，相 应的仪器最高分辨本领也就可达3nm
②入射电子束在样品中的扩展效 应 电子束能量与撞击深度 0对于轻元素样品- -“梨形作用体积 重元素样品 - 1kV 2kV - “半球形作用体 10 积” 20 0 改变电子能量只引 30 起作用体积大小的 40 变化，而不会显著 50 (nm) 地改变形状。 23
②入射电子束在样品中的扩展效 应 o 对于轻元素样品- -“梨形作用体积 ”，重元素样品- -“半球形作用体 积” o 改变电子能量只引 起作用体积大小的 变化，而不会显著 地改变形状。 23
人射电子束 5~-10m 俄歌电子 0.5~2nm 二次电子 0 以二次电子 的 背散射电子 像的分辨率 特征X射线 作为衡量扫 连续X射线 描电子显微 镜分辨率的 背散射电子 空间分舞率 主要指标。 X射线空间分辨率 图13-6 滴状作用体积 24
24 o 以二次电子 像的分辨率 作为衡量扫 描电子显微 镜分辨率的 主要指标
可以产生信号的区域 称为有效作用区，有 一电子束 效作用区的最深处称 俄做电子 二次电子 为有效作用深度。 背散射电子 俄歌电子0.4-2nm 高 特征X时线 二次电子5-10nm 分辨率 连续X射线 背散射电子100nm-1um X射线光子500nm-5um 图34电子束与固体物质的作用体积 低 25
o 可以产生信号的区域 称为有效作用区，有 效作用区的最深处称 为有效作用深度。 25