共焦法布里-珀罗干涉仪的共轭分析

D0I:10.13374/j.issn1001053x.1998.06.019 第20卷第6期 北京科技大学学报 Vol.20 No.6 1998年12月 Journal of University of Science and Technology Beijing Dec.1998 共焦法布里~珀罗干涉仪的共轭分析 丁红胜谭中慧龚育良 北京科技大学应用科学学院.北京100083 摘要分析了共焦法布里，珀罗干涉仪的反射光和透射光的特点，提出了一种激光超声的干涉仪 共轭探测方法并给予实验验证.这种方法能将激光超声探测系统的探测灵敏度至少提高2倍， 关键词共焦法布里，珀罗干涉仪；激光超声；灵敏度 分类号043 激光超声检测技术是利用高功率密度的激光脉冲在材料内部产生超声波，并利用低功率 稳频激光器和光学干涉仪来接收超声波的.用光学干涉仪来接收超声波的方法一般有自差 法、外岁法和共焦法，前二者的共同特点是选用双光束干涉仪（如迈克耳逊干涉仪）作为解调 器件的.这种干涉仪对表面位移灵敏，并要求被测样品表面具有很高的光洁度，由于一般的被 测材料表面都是粗糙的，仅仅是这一点就限制了自差法和外差法的实际应用.共焦法的解 调器件是共焦球面法布里-珀罗(Fabry-Perot)千涉仪，这种干涉仪对固体表面的速度灵敏，对 物体的低频振动不灵敏，而且它是一种多光束干涉仪，可以同时接收多个散斑.也就是说，它 有很强的聚光能力，可以有效地收集粗糙表面的背散射光.因此，共焦法适合于工业现场探测 固体表面的超声振动以达到检测的目的， 本文根据共焦球面法布里·珀罗干涉仪的解调原理着重分析了这种干涉仪的输出特性， 提出一种提高系统探测灵敏度的共轭输出方法和装置并给予实验验证. 1共焦球面法布里-珀罗干涉仪的解调原理 共焦球面法布里-珀罗干涉仪（如图1），它是由相距为d、镜面反射率为R的2块球面镜 构成，单色光在干涉仪腔中来回反射形成图中的透射光(1,2)和反射光(3,4)， 图1中的人射光是来自样品表面的反射 光和散射光.为了说明干涉仪的特性，可将这 人射光 透射光 种反射光和散射光的光场描述为"： 2 E=E。exp[j(2yt-(2π/)Z+p】(I) 反射光 式中：为单位复数；Eo,元，p,分别为光场的 幅值、频率、波长和相位，Z是激光源到光电探 图1干涉仪光路图 测器之间的距离.如果样品表面存在超声位 移，一般可表示为： (t)=u cos(2ft+) (2) 1997-12-25收稿丁红胜男，28岁，硕士 ◆国家自然科学基金资助课题

第2 0卷 第6 期 1 99 8年 1 2月 北 京 科 技 大 学 学 报 J o u r n a l o f U n i v e r s i ty o f 欣i e n e e a n d T e c h n o l o g y B e iji n g V 0 1 . 20 N 0 . 6 】k C . 19 98 共焦法布里 任白罗干涉仪的共辘分析 丁 红胜 谭中慧 龚育 良 北京科技大学应用科学学院 . 北京 1 0 00 8 3 摘要 分 析了 共焦法布 里 一 拍罗干涉仪的反射光和透射光 的特 点 , 提 出了 一种激光超声的干涉仪 共扼探 测 方法并给予实验验证 . 这种方法能将激光超声探测系统的探测灵敏度 至少提 高 2 倍 . 关键 词 共焦法布 里 一 拍罗 干涉仪; 激光超声 ; 灵敏度 分 类号 0 4 3 激光 超 声检 测技 术 是利 用高功 率密度 的激光脉 冲在 材料 内部产生 超声 波 , 并 利 用低 功率 稳 频激 光 器 和 光 学 干 涉 仪来接 收超 声 波的 . 用光 学 干涉 仪来 接 收超 声 波 的方 法 一 般有 自差 法 、 外左 法 和 共 焦法 , 前 二 者 的共 同特点是 选用 双光 束 干涉 仪 (如迈 克 耳逊 干 涉仪) 作为解 调 器件 的 . 这种 干涉仪对表面 位移灵敏 , 并要求 被测样 品表 面具 有很高的光 洁度 , 由于 一般 的被 测 材 料表 面都 是 粗糙的 , 仅仅是 这一点 就 限制 了 自差法 和 外 差法 的实 际应用川 . 共 焦 法 的解 调 器件 是共 焦 球 面法布 里 一 拍 罗 (aF b yr 一 eP or O 干涉仪 , 这种 千涉 仪对固体表面 的速度灵敏 , 对 物 体的低 频 振 动不 灵 敏 , 而且 它 是一种多 光 束干 涉仪 , 可 以 同时接 收 多个散斑 . 也 就是 说 , 它 有 很强 的 聚光能力 , 可 以有 效地 收集粗糙 表面 的背散射光 . 因此 , 共焦 法适合于 工业 现场探 测 固体表面 的超 声 振动 以 达 到检测 的 目的 . 本文 根 据共焦 球面法 布里 一 拍罗 干涉仪 的解调 原理 着重 分析 了这 种 干涉仪 的输 出特性 , 提 出一种提 高系 统探测灵 敏度 的共扼输出方法和 装置 并给予实 验验证 . 1 共焦球面 法布里 任白罗干 涉仪的解调原理 共焦 球 面法 布 里 一 拍罗 干 涉仪 (如 图 1 ) , 它是 由相 距 为 d 、 镜 面反射 率为 R 的 2 块 球 面镜 构成 , 单 色光 在干 涉仪 腔 中来 回 反射 形成 图中的透射 光 ( l , 2) 和反 射光 ( 3 , 4) . 图 l 中 的人 射光 是 来 自样 品 表 面的 反射 光 和 散射 光 . 为 了说 明 干 涉仪 的特 性 , 可 将 这 种反 射光 和散 射光 的光 场 描述 为川 : 式= 月 。e x p [ j ( 2兀 y t 一 ( 2二 / 几) Z + 沪。 ) ] ( l ) 式 中 : j 为 单 位 复 数 ; 月 。 , v , 几 , 尹。分 别 为 光 场 的 幅值 、 频率 、 波 长 和 相位 , Z 是 激光源 到光 电探 测 器 之 间 的距 离 . 如 果 样 品表 面 存 在 超 声 位 移 , 一般 可表 示为 : 透射光 反射光 图1 干涉仪光路图 d ( )t = u e o s ( 2 二 天t + 尹) ! 9 -7 12 一 25 收稿 丁 红胜 男 , 28 岁 , 硕士 中 国家 自然 科学基金 资助 课题 ( 2 ) DOI: 10. 13374 /j . issn1001 -053x. 1998. 06. 019

Vol.20 No.6 丁红胜等：共焦法布里珀罗干涉仪的共轭分析 591 式中，4，∫，p为超声位移的振幅、频率和相位.此时式(1)中的Z不再是常数，而是一个与超声 位移有关的变量，Z可表示为： Z(0=Z。+2ò(t) (3) 式中，Z。为不含超声位移的样品表面与光电增收器之间的距离.将(3)式代人(1)式： E=E。·exp[j(2yt-(4π/)i()-(2元/)Z+P】 (4) 将(2)式代人(4)式有： E=E。·explj(2πyt-(4π/)cos(2rf,t+p)-(2π/)Z。+p】 (5) 由于Z和p是与超声无关的常量，为了使此式简化，可令： E=E。·exp[j2y9]·exp[-j(4πu/)cos(2f,t+p] (6) (6)式中p为常数，一般情况下，u《1,(6)式取一级近似为： E=E。·expj(2πyl·[1-j4πu/)cos(2πf.l+p)】=E,o{expj2πy)- j(4n u/)[expj (2n(y+f)t+p)]+expj(2n(y-f)t-pl) (7) 由(7)式可以看出检测光除y外，还出现了(y+∫)和y-f),即它的频率f被超声频率调制. 若8()为脉冲波，则检测光在γ附近的一定频带内被调制.这种被调制后的背反射光和散射光 进人干涉仪，形成图1的光路，其中透射光场经过计算可以得到： E=E。·expi2πy]·{,)-j2πu/)t(f,+tFf)× exp[j2πft+p)]+tf,-tFf)·exp[-j2rft+p)}} (8) 式中：∫，=(y-Y)/△ym为解调系数(y,为透射谱线峰值频率，△ym为透射谱线的半峰宽度)， 其值一般定为0.5，即对应于干涉仪透射谱线的半峰值点；x=4dc为相邻两出射光束的相位 延迟；F=元R/(1一R)为干涉仪的精细度.对光线1，光场的透射系数为： 1-R W）=i-R'expj2πf,1月 (9) 因为光线1的透射光强I=E·E,,如果省略(u/)的高阶部分，用欧拉公式可以得到： I=I{(f,川2+(4πu/)s,)cos[2πft+p-8(f)]} (10) 式中，s,(f)和(f)分别为光线1的光强对超声位移的幅 透射峰谱线 值和相位响应. 由(7)式和(10)式可以看出，背反射光和散射光经法 =0.5 布里-珀罗干涉仪的前后由频率调制变成了幅度调制.图 2给出了共焦布里-珀罗干涉仪的解调原理图. 由图看出，干涉仪工作在透射谱线半峰值处，解调灵 敏度最高，而且透射谱线越陡，解调灵敏度越高，所以对特 定的干涉仪，对所用的检测光，应将干涉仪稳定工作在其 多普勒频移 透射谱线半峰值处，要尽可能提高其透射峰的高度， 图2 干涉仪的解调原理图 2法布里-珀罗干涉仪的共轭分析 用共焦法布里面-珀罗干涉仪探测激光超声，国外一般都是应用它的透射光，也就是图1 中的光1和光2，而反射光（图中3和4）没有利用.实际上干涉仪的反射光与透射光具有类似 的性质.在此对光2,3,4的性质作进一步的说明

v .lo 20 No .6 丁 红胜等 :共焦法布里 一 拍罗 干涉仪 的共扼分析 . 5 91 . 式 中 , u , f “ , 沪为 超声位移 的振 幅 、 频率和相 位 . 此时式 l( ) 中的 Z 不再是 常数 , 而是 一个 与超 声 位移 有 关的 变量 , Z 可表示 为 : Z ( )t = 0z + 2占()t ( 3) 式 中 , z0 为 不含超 声位移 的样 品表面 与光 电增 收器 之 间的距离 . 将 ( 3) 式代 人 l( )式 : 式 = 月 。 · e x p [j ( 2 二 下t 一 ( 4 二 / 又) d ( t) 一 (2 二 / 又)凡 + 沪 。 ) ] (4 ) 将 (2 )式代人 (4 )式有 : 乓= 式 。 · e x p [ j ( 2 “ y t 一 ( 4 T / 又) c o s ( 2可 。 t + 沪) 一 ( 2 二 / 又)0Z + 尹 。 ) ] ( 5 ) 由于 z 。和钱是 与超 声 无关 的常量 , 为了使此式简 化 , 可令 : 式 = 军 。 · e x p [j ( 2 二y t) ] · e x p [ 一 j (4 二 u / 之) c o s ( 2可 “ t + 沪) ] ( 6 ) (6 )式 中沪为常 数 , 一 般情 况下 , 。 《 又 , (6) 式取 一级近似为 : 式 = 式 。 · e x p [j (2 二y )t ] · [ l 一 j (4 二 u / 几) c o s ( 2 二 f u r + 沪)] = 双 。 笼 e x p j (2 二下)t - j ( 4 二 u / 又) [ e x p j ( 2二印 + fu ) t + 沪) ] + e x p j ( 2二 印 一 f 。 ) t 一 尹]} ( 7 ) 由 (7 ) 式 可 以看 出检 测光 除下外 , 还 出现 了 ( y + fu )和伽 一 f u) , 即它 的频率 了 。被超 声 频率 调制 . 若占()t 为脉冲波 , 则 检 测光在下附近 的一定 频带 内被 调 制 . 这 种被 调 制后 的背 反射光 和散射光 进人 干 涉仪 , 形成 图 1 的光路 , 其 中透射光 场经过计算可 以 得 到 2[] : 军 = 式 。 · e x p [ j ( 2 二 y )t ] · 笼r , (f 。 ) 一 j ( 2二 u / 又) { r , ( f ; + r F f 。 ) x e x p [j (2二 fu t + 沪) ] + t l (f ; 一 丁习 . “ ) · e x p [ 一 j ( 2二 f 。 t + 尹) ]} } ( 8 ) 式 中 : f r = ( y 一 扎) / △汽为解调 系数 伽 。为透射 谱线 峰 值频 率 , △汽为透 射谱线 的半 峰 宽度 ) , 其值一般定为 0 . 5 , 即对应 于干涉仪透射谱线的半 峰值点 ; T = 4 d/ c 为相 邻两 出射光束的相 位 延迟 ; F = 找 R (/ 1 一 R ’ )为干涉 仪的精细度 . 对光 线 1 , 光场 的透 射 系数 为 : t l f( ; ) = l 一 R l 一 R , e x (P j 2 二 f ; / 月 ( 9 ) 因为光线 1 的透射光强人= 瓦 · 可 , 如 果省 略 (u / 幻 , 的高 阶部分 , 用 欧拉 公式 可 以 得到 : 人= 戒笼I t , ( f ; )I ’ + ( 4二 u / 又) 5 1 f( “ ) e o s [ 2 二 f “ r + 尹 一 0 1 ( fu ) ]} ( 10 ) 式 中 , : , ( fu )和 a l (人 )分别为光线 1 的光强 对超声位 移 的幅 值和相 位 响应 . 由 ( 7) 式 和 ( 10) 式可 以看 出 , 背反 射光和 散射光经 法 布 里 一 拍罗 干 涉仪 的前后 由频率调 制变 成 了幅度 调制 . 图 2 给出 了共焦 布 里 一 泊罗干涉仪的解调原 理 图 . 由 图看 出 , 干 涉 仪工作在 透射谱线 半 峰值处 , 解 调灵 敏度 最 高 , 而且 透 射谱线越陡 , 解调灵 敏度 越高 , 所 以 对特 定 的 干涉 仪 , 对所 用 的检测 光 , 应 将干涉 仪稳 定 工 作 在其 透射谱线 半峰 值处 , 要 尽可 能提高其透 射峰 的高度 . 侧 侈 一 I 图2 干涉仪 的解调原理 图 2 法布里 一 拍 罗干涉仪 的共辘分析 用共 焦法 布里 面 一 拍罗 干涉仪 探测激光 超声 , 国外 一般 都是 应用 它 的透射光 , 也就是 图 1 中 的光 1 和光 2 , 而反 射光 (图 中 3 和 4) 没有利用 . 实 际上 干涉仪 的反 射光 与透射光具有 类似 的性质 . 在 此对光 2 , 3 , 4 的性质 作进 一步 的说 明

·592· 北京科技大学学报 1998年第6期 光线2比光线1多了2次反射，对其幅值响应3，()=R2s,(f)(R为透射系数)， (f)=Rtf),对相位响应而言，6，()=6，（在此基础上，作类似的推导. 光线2的出射光强度表达式为： I=I(f2+(4πf,/)s(f)cos[2πft+p-62(f]} (11) 实际应用中，应用的透射光就是光1和光2之和，二者叠加： L,=II(f川2+If,l2+(4πu/)s,(f)cos[2πf.t+p-6.(f)]} (12) 其中：队f)=8,()=8,(fs(f)=3(f)+s()=(1+R)s,(f. 用前面同样的方法我们可以推出反射光3和4透射光强的表达式： L=Il(f,)川2+|tf,川2+(4πu/)s,(f)cos[2πf.t+p-8.(f)} (13) 其中，s,)=s,00+5,). 从式(I3)可以看出，反射光强和透射光强一样也带有超声振动信号，其表达式和透射光 强的表达形式极为相似，所以在用透射光强的时候， 同时也可以用反射光强，在不考虑镜面反射光能损失 反射峰 的情况下，透射光强和反射光强之和应等于人射光 强，而且在一般情况下法布里面·珀罗干涉仪的透射 共轭峰 谱线和反射谱线相对于∫，=0.5处完全对称，如图3 所示，我们称这种对称性为法布里·珀罗干涉仪的共 轭输出特性，很明显，如果将激光频率改变（或等效地 改变干涉仪的腔长)所测得的透射峰曲线和反射峰曲 线反向叠加就可以得到新的共轭曲线.如图3，新的共 透射峰 轭峰曲线比透射峰和反射峰曲线具有较大的陡度和 高度，因此用共轭峰曲线在理论上能明显地提高探测 图3反（进）射峰和共轭峰曲战 灵敏度. 3实验装置及实验结果 为了验证上面的共轭分析，设计了如图4的光路图.实验中给压电陶瓷（注：该压电陶瓷 与干涉仪的一球面镜固定在一起)加一锯齿波电压以改变干涉仪的腔长，在出射光和反射光 HF He-Me激光器 PIN2 控制系统 低通滤波 PINI 信号迭加 高频滤波 高频放大 信号显示 图4 实现共轭输出的实验装量

北 京 科 技 大 学 学 报 199 8年 第 6期 光 线 2 比 光 线 l 多 了 2 次 反 射 , 对其 幅 值 响 应 5 2 (天) = 尸 5 1 ( f 。 ) (R 为 透 射 系 数 ) , tz( f 一 R 叭了r) , 对相 位 响应而 言 , 氏( fu ) = 氏( fu ) . 在此基 础上 , 作类 似的推 导 . 光线 2 的 出射光强度 表 达式 为 : 、少、产.. J `且, ,盆.` . 了 盈 `、.、 人 实际应 用 中 , = 人{Ilt ( f ,) l ’ + ( 4二 f : l 又) 5 2 ( f “ ) 应用 的透 射光就是 光 1和光 2 e o s [ 2二 f “ r + 沪 一 0 2 ( f 。 ) ]} 之 和 , 二者 叠加 : I, : 8蔑f u ) = 式厦l r , ( f )r I ’ + l tZ( f r ) l ’ + (4二 u / 又) s ; ( f “ ) c o s [2 二 f 。 r + 沪 一 e r ( f “ ) ]} = 0 1 ( f u) = 0 2 ( f “ ) ; s浅f 。 ) = s ; ( f 。 ) + 5 2 ( f 。 ) = ( l + r ) 5 1 ( f “ ) . 用前面同样 的方 法我们可 以推出反射光 3 和 4 透射光 强 的表达 式 : rI = 式{l 3t ( f , ) l ’ + } t4( f ; ) l ’ + (4 二 u / 又) s , ( f “ ) e o s [ 2 二 f “ t + 护 一 e r( f 。 ) ]} ( 1 3) , sr 优) = 5 3优) + s 一优) · 从式 ( 13) 可 以 看 出 , 反 射光 强和 透射 光强 一样 也 带有 超 声振 动信 号 , 其表 达式 和 透射光 其中中 强 的 表 达 形式 极 为 相 似 , 所 以 在 用 透射光 强 的 时候 , 同时也 可 以 用反 射光强 . 在不 考虑 镜面反射 光 能损失 的 情 况 下 , 透 射 光 强 和 反 射 光 强 之 和 应 等 于 人 射 光 强 , 而且 在 一般情况 下 法 布里面 一 拍 罗 干涉 仪 的透 射 谱线和 反 射谱线相 对于 f r = .0 5 处完全 对称 , 如 图 3 所 示 , 我们称 这 种对称性 为 法布里 一 拍 罗 干涉 仪的共 辘 输出特 性 . 很明 显 , 如果将激光 频 率改 变 (或等效地 改变 干涉 仪的腔 长 ) 所测 得 的透 射峰曲线和 反射峰 曲 线反 向叠 加就 可 以 得到新 的 共扼 曲线 . 如 图 3 . 新 的共 扼 峰 曲线 比透 射峰和 反射 峰 曲线 具 有 较大 的陡 度 和 高度 , 因此 用共 扼峰曲线在理论 上能明显地 提 高探测 灵敏度 . 反 射峰 共扼峰 透射峰 圈3 反 (通 ) 射峰和共辘峰曲线 3 实验装皿及实验结果 为了 验证上 面的 共 扼分析 , 设计了如图 4 的光路 图 . 实验 中给 压 电陶 瓷 (注 : 该压 电陶瓷 与干涉仪的一 球面镜固定 在 一起 )加一 锯齿波电压以改变干 涉仪的腔 长 , 在 出射光 和反 射光 人、 . 口 因 低通 滤波 信号迭加 P IN Z 图4 实现共扼输 出的实验装 t

Vol.20 No.6 丁红胜等：共焦法布里珀罗干涉仪的共轭分析 ·593· 方向对激光进行光电信号处理即可获得反射峰和透射峰谱线， 如果将反射峰谱线和透射峰谱线正向叠加则会出现相消的结果，这说明二者反向对称 (如图5)，所以如果将反射峰谱线和透射峰谱线反向叠加则将产生新的共轭峰谱线（如图 6).从验证实验可以看出：实验结果与理论分析一致 图5反射峰谱线和透射峰谱线正向叠加相消 围6反射峰谱线和透射谱线反向叠加产生的共轭谱线 4 结论 透射峰的半峰值电压是共轭峰的半峰值电压的一半，前者的陡度相对于后者来说明显要 小，如果在探测激光超声时让干涉仪工作在其共轭峰的半峰值电压处，那么探测灵敏度将提 高至少2倍. 参考文献 1 Monchalin J P,Heon RLaser Ultrasonic Gereration and Optical Detection with a Confocal Fabry- Perot Interferometer.Materials Evaluation,1986(10):44 2 Monchalin J P,Aussel J D.Laser-ultrasonic Development Towards Industry Applications.IEEE Ultra- sonics Symosium.1988,90:1041 3 Dewherst D J,Shan Q.Modelling of Confocal Fabry-Perot Interferometer for the Measurement of Ultrasound.Meas Sci Technol,1994(5):655 Conjugate Analysis for Confocal Fabry-Perot Onterferometer Ding Hongsheng Tan Zhonghui Gong Yuliang Applied Science School,UST Beijing,Beijing 100083,China ABSTRACT The character of optical back reflection and optical transmission through confocal Fabry-perot interferometer is analyzed,and a method of laser ultrasound conjugate detection using interferometer is demonstrated.The experimental results is given.This method can enhance the detection sensitivity of laser ultrasound detection system at least two times. K EY WORDS confocal febry-perot interferometer;laser ultrasound;sensitivity

V .ol 20 oN .6 丁红胜等 : 共焦法布里 一 拍罗 干涉仪的共扼分析 . 59 3 . 方 向对激光进行光电信号处理 即可获得 反射峰 和透射 峰谱线 . 如果将反 射 峰 谱线 和透 射 峰谱线 正 向叠加 则 会 出现 相 消 的结 果 , 这 说 明二 者 反 向 对称 (如 图 5) , 所 以 如 果 将 反 射 峰 谱 线 和 透 射 峰谱 线 反 向叠 加 则 将 产 生 新 的 共 扼 峰 谱 线 (如 图 6) . 从验证实验 可 以 看 出 : 实验 结果 与理论分析 一致 . 圈5 反射峰谱线和透射峰谱线正向. 加相消 图6 反射峰谱线和 透射谱 线反向盛加产 生的共辘谱线 4 结论 透 射峰 的半 峰值电压是共 扼峰的半峰 值 电压 的一半 , 前者 的陡度 相 对于后 者来说明显要 小 , 如果在 探测 激 光超 声时让干 涉仪工 作在 其共扼 峰的半峰值 电压处 , 那 么 探测 灵敏 度 将提 高至少 2 倍 . 参 考 文 献 1 M o cn hal i n J P, 比 on R I刁 s e r 切廿 a s o in e 仓 er ar it o n an d 0 Pit e al 众 et e it o n w i ht a 伽 n ft 兄 al aF byr - eP or t I n et fer or m e et r . N肠 et ir al s vE al au it叽 19 86 ( 10) : 4 4 2 M o nC h al i n J ,P A su s e l J .D 肠 s e -r lu t ras o in e 众 v e 1 o Pm e nt T o w ar d s nI d su ytr A PP1i e a it osn . IE E lU u丑 - s o in e s S y m os i um . 19 8 8 , 90 : 10 4 1 3 eD w h e sr t D J , Sh an Q . M do e ll ign o f C o n ft 犯al aF byr 一 eP or t ln et fer or me et r for het M 七as 眠me n t o f lU tn ” oun d . Me as S e i eT e hn ol , 19 94 ( 5) : 6 55 C o nj u g a t e A n a ly s i s fo r C o n fo e a l F ab yr 一 P e r o t O n t e r fe r o m e et r D in g oH n g s h e n g aT n 及 o n g h u i G o n g uY l依 n g A lP i e d S c i e cn e S e h o l , U S T B e ij ign , B e ij 反n g 10 0 0 8 3 , ( 加I n a A B ST R A C T hT e e h a r a c te r o f o Pit e al b ac k re fl e e it o n a n d o Pit e al t r a n s而 s s i o n ht or u g h e o n f、又 al aF b ry 一 pe r o t i n te rfe or m e te r 1 5 an al y z e d , an d a m e ht do o f l as e r ul t n 拐 。 u n d e o nj u g aot d e et e it o n u s i n g i n et 成 or m e et r 1 5 d e m o n s t r a et d . hT e e x pe ir m e n alt er s u lst 1 5 g i v e n . T hj s m e ht do e an e n h acn e ht e d e et c it o n s e n s iit v i yt o f l as e r u lt r as o u n d d e et e it o n s y s et m at l e as t tW O it m C S . K E Y W O R D S e o n cfo a l fe b yr 一 pe or t i n et fer or m e et r ; l a s e r u lt r as o un d : s e n s iit v i yt