材料科学与工程学院 表面改性技术 离子注入 硅片的注入
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材料科学与工程学院 表面改性技术 硅片刻蚀 激光刻蚀
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材料科学与工程学院 表面改性技术 微细表面加工：光刻
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材料科学与工程学院 表面改性技术 ▪ 3.表面工程的特点 廉价基体上，获得多种功能表面！ 表面层很薄，但可获得很好的效果！ 大幅度的节约能源和资源！