第六章表面改性新技术 ③ S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 甲6.5离子注入技术 a离子注入是将某一需要注入的化学元素的 业原子经电离后变成离子,并将其在电场中加 大速,获得较高的动能后注入到固体材料表 学 面,以改变该材料表面的物理、化学或机械 性能的一种技术。在离子注入过程中,具有 ≠一定动能的离子射入固体后,就与固体表层 内的原子核和电子发生随机碰撞。 程 学 况
1 6.5 离子注入技术 离子注入是将某一需要注入的化学元素的 原子经电离后变成离子，并将其在电场中加 速，获得较高的动能后注入到固体材料表 面，以改变该材料表面的物理、化学或机械 性能的一种技术。在离子注入过程中，具有 一定动能的离子射入固体后，就与固体表层 内的原子核和电子发生随机碰撞。 第六章 表面改性新技术
第六章表面改性新技术 ③ S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 甲65离子注入技术 x碰撞过程中,离子不断消耗其能量,离子的 矿 业 运动方向不断改变。经过一段碰撞过程后,离 子的能量耗尽,就在固体表层内某一部位停留 下来,达到的表面改性的效果。 离子注入技术首先应用于半导体材料。该技 术使大规模集成电路的研究和生产获得了极大 的成功。70年代以后才开始用于金属材料的表 栏面改质 学 2 况
2 6.5离子注入技术 碰撞过程中，离子不断消耗其能量，离子的 运动方向不断改变。经过一段碰撞过程后，离 子的能量耗尽，就在固体表层内某一部位停留 下来，达到的表面改性的效果。 离子注入技术首先应用于半导体材料。该技 术使大规模集成电路的研究和生产获得了极大 的成功。70年代以后才开始用于金属材料的表 面改质。 第六章 表面改性新技术
严(第六章表面改性新技术 ③ S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 65.1离子注入的基本原理及注入过程 离子注入的过程是将需要注入的元素在离 矿子源中进行离子化,以数千伏的电压把形成 业 的离子引入质量分析器,在质量分析器中把 具有一定荷质比的离子筛选出来,并导入加 速系统,在数千伏到数百千伏的加速电压作 用下,高能离子在扫描电场作用下,可在材 与料表面纵横扫描,从而实现高能离子对材料 程 表面的均匀注入 学 况
3 6.5.1离子注入的基本原理及注入过程 离子注入的过程是将需要注入的元素在离 子源中进行离子化，以数千伏的电压把形成 的离子引入质量分析器，在质量分析器中把 具有一定荷质比的离子筛选出来，并导入加 速系统，在数千伏到数百千伏的加速电压作 用下，高能离子在扫描电场作用下，可在材 料表面纵横扫描，从而实现高能离子对材料 表面的均匀注入。 第六章 表面改性新技术
第六章表面改性新技术 ③ S&三 CH口口L口 F MATERIALS SCIENGE& ENGINEERING 甲国矿业大学材科科学与工程学院
4 第六章 表面改性新技术
严(第六章表面改性新技术 ③ CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 多功能离子注入机核西物院成都同创中心 7.9E-4 回 源源头合 源头部合 甲国矿业大学材科科学与工程学院 头部合 源源头合 自动真空远行状志 □开机报 发位靶自转 系儿气体金属金属源2清洗源戏射源数易
5 第六章 表面改性新技术