(一）电子光学系统一】 成像系统 电子透镜 电子透镜：能使电子束聚焦的装置 电子透镜是电镜的核心部件，其工作方式是 利用复杂的电极和线圈结构形成静电场和磁场。 电子透镜存在各种像差(aberration),这 是影响成像质量的主要因素
◈ ⊃ ► ◄ ■ （一）电子光学系统——成像系统 电子透镜：能使电子束聚焦的装置 电子透镜是电镜的核心部件，其工作方式是 利用复杂的电极和线圈结构形成静电场和磁场。 电子透镜存在各种像差（aberration），这 是影响成像质量的主要因素。 电子透镜
电磁透镜的结构 电子源 60800￥96升 焦点 电子轨迹 铜导线 软铁壳 软铁壳
◈ ⊃ ► ◄ ■ 电 磁 透 镜 的 结 构 • 电子 电子源 电子轨迹 铜导线 软铁壳 软铁壳 焦点
(二)真空系统 主要由机械泵、油扩散泵或离子泵、 联动控制阀门、真空排气管道、空气 过滤器和用于真空度指示的真空测量 规等组成
◈ ⊃ ► ◄ ■ (二) 真 空 系 统 主要由机械泵、油扩散泵或离子泵、 联动控制阀门、真空排气管道、空气 过滤器和用于真空度指示的真空测量 规等组成
(三)供电系统 供电系统包括高压电源、真空 系统供电电源、透镜电源、辅助 电源及安全保护系统的电源等
◈ ⊃ ► ◄ ■ (三) 供 电 系 统 供电系统包括高压电源、真空 系统供电电源、透镜电源、辅助 电源及安全保护系统的电源等
(四)机械系统 机械系统包括电镜座、标本室、 磁屏蔽外壳、镜筒、制冷系统及控制 工作台等，这些部分都有着相当高的 性能
◈ ⊃ ► ◄ ■ (四) 机 械 系 统 机械系统包括电镜座、标本室、 磁屏蔽外壳、镜筒、制冷系统及控制 工作台等，这些部分都有着相当高的 性能