(一)电子光学系统-一一照明系统 ·电子光学系统主要由电子枪和聚光镜组成。 ·电子枪是发射电子的照明光源。 。 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交 叉点进一步会聚后照射到样品上。 ·照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径 角小、平行度好、束流稳定的照明源
◈ ⊃ ► ◄ ■ （一）电子光学系统-照明系统 • 电子光学系统主要由电子枪和聚光镜组成。 • 电子枪是发射电子的照明光源。 • 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交 叉点进一步会聚后照射到样品上。 • 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径 角小、平行度好、束流稳定的照明源
1.电子枪 电子枪是电镜的电子发射源，其作用 是形成电子束，并控制电子束的发射，获 得一高亮度和高稳定度的照明电子光源。 常用的电子枪是热阴极三极电子枪， 它由发夹形钨丝阴极、栅极和阳极组成
◈ ⊃ ► ◄ ■ 1. 电 子 枪 电子枪是电镜的电子发射源，其作用 是形成电子束，并控制电子束的发射，获 得一高亮度和高稳定度的照明电子光源。 常用的电子枪是热阴极三极电子枪， 它由发夹形钨丝阴极、栅极和阳极组成
电子枪的结构及工作原理图 E 灯丝 RB 栅极 交叉点 2rc 二云+ 阳极
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灯丝
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2.聚光镜 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束， 以最小的损失照明样品，调节照明强度、 孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜 系统。第一聚光镜是强激磁透镜而第二聚 光镜是弱激磁透镜
◈ ⊃ ► ◄ ■ 2. 聚 光 镜 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束， 以最小的损失照明样品，调节照明强度、 孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜 系统。第一聚光镜是强激磁透镜而第二聚 光镜是弱激磁透镜