Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation 集成电路原理与设计 集成电路制作工艺:寄生效应和SOI工艺
集成电路原理与设计 集成电路制作工艺：寄生效应和SOI工艺 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only
Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation 第二章集成电路制作工艺 21.1集成电路加工的基本操作 21.2MOS结构和分类 2.2.1N阱cMos工艺 2.2.2深亚微米CMoS工艺 23.1 CMOS IO中的寄生效应 23.2S0I工艺 233CMos版图设计规则
2 第二章 集成电路制作工艺 2.1.1 集成电路加工的基本操作 2.1.2 MOS结构和分类 2.2.1 N阱CMOS工艺 2.2.2 深亚微米CMOS工艺 2.3.1 CMOS IC中的寄生效应 2.3.2 SOI工艺 2.3.3 CMOS版图设计规则 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only
Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation 场区寄生MOS晶体管 金属 氧化层 n 防止出现寄生沟道的措施: 足够厚的场氧化层 场区注硼
3 场区寄生MOS晶体管 防止出现寄生沟道的措施: 足够厚的场氧化层 场区注硼 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only
Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly 体硅CMOS中的闩锁效应 R sVn闩锁效应示意图Vg DD h Rs n阱 p型衬底
4 体硅CMOS中的闩锁效应 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only
Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software 。Vn闩锁效应示盒阳V 闩锁效应等效电路"Y p型衬底 RW Vout Q4 Q1 闩锁效应 Vout Q2 击穿 Q3 V/au 5
5 闩锁效应:等效电路 Q1 Q2 Q3 Q4 Vout Vout Rw Rs Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only