第二代显微镜一电子显微镜Ruska电子显微镜1932年Knoll20世纪三十年代早期卢斯卡（E.Ruska）等发明了电子显微镜，使人类能"看”到病毒等亚微米的物体，它与光53600学显微镜一起成了微电子技术的基本工具
第二代显微镜——电子显微镜 20世纪三十年代早 期卢斯卡（E.Ruska）等 发明了电子显微镜，使 人类能”看”到病毒等 亚微米的物体，它与光 学显微镜一起成了微电 子技术的基本工具。 1932年 电子显微镜 Ruska Knoll
(SPM)第三代显微镜一扫描探针显微镜扫描隧道1982年口显微镜OneSystemDoesItAll也可简称为纳米显微镜。1982年PlcoPu宾尼和罗雷尔发明了扫描隧道显微镜PAicoScan25（STM），使人类实现了观察单个原子的原望：1985年宾尼发明了可适用于非导电样品的原子力显微镜（AFM），也具有原子分辨率，与扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针显微镜（SPM）系列。P.PicoPlus0000从1830年到1982年150年内，人类眼晴的也从200m看”到了0.1nm，提高了2000倍
第三代显微镜——扫描探针显微镜（SPM） 也可简称为纳米显微镜。1982年 宾尼和罗雷尔发明了扫描隧道显微镜 （STM），使人类实现了观察单个 原子的原望；1985年宾尼发明了可适 用于非导电样品的原子力显微镜 （AFM），也具有原子分辨率，与 扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针 显微镜（SPM）系列。 扫描隧道 显微镜 1982年 从1830年到1982年150年内，人类眼睛的也从 200nm“看”到了0.1nm，提高了2000倍
第一节扫描电镜的发展p扫描电镜的发展方向现代扫描电镜的发展方向主要是两个：大型和超小型。大型：采用场发射电字枪或署LaB6电子枪，提高分辨率到25A。与电字探针的坊能相结合，加上波长色散谱仪和能量色散谱仪，进行元素分析。并加上电子通道花样（ECP）和选区电子通道花样（SECP）等功能。使其性能向综合的方向发展。超小型：由于扫描电镜制样简单，操作方便，图象更有立体感，层次细节更分明和丰富，清晰度高，各制造广家自75年后纷纷制造各种桌上型的扫描电镜（也称简易型）。其特点是体积小，重量轻。像日立公司（HITACHI）的S一310A，全部重量170公斤，日本电子的ISM一T20也仅180公斤。这类超小型扫描电镜能以很低的代价（不超过40000美元）就得到高分辨率（150A）的清晰图象，应用广泛。扫描电镜的分类：常规扫描电镜（SEM）、环境扫描电镜（ESEM）场发射扫描电镜（FE-SM）、扫描隧道显微镜（STM）、扫描透射电镜（STEM）、扫描探针显微镜（SPM）、原子力显微镜（AFM）分析型电镜（与能谱，红外等设备联用）
• 现代扫描电镜的发展方向主要是两个：大型和超小型。大型：采用场 发射电子枪或者LaB6电子枪，提高分辨率到25Å。与电子探针的功 能相结合，加上波长色散谱仪和能量色散谱仪，进行元素分析。并加 上电子通道花样（ECP）和选区电子通道花样（SECP）等功能。使 其性能向综合的方向发展。 • 超小型：由于扫描电镜制样简单，操作方便，图象更有立体感，层次 细节更分明和丰富，清晰度高，各制造厂家自75年后纷纷制造各种桌 上型的扫描电镜（也称简易型）。其特点是体积小,重量轻。像日立 公司（HITACHI）的S－310A，全部重量170公斤，日本电子的JSM －T20也仅180公斤。这类超小型扫描电镜能以很低的代价（不超过 40000美元 ）就得到高分辨率（150Å）的清晰图象，应用广泛。 • 扫描电镜的分类：常规扫描电镜（SEM）、环境扫描电镜（ESEM）、 场发射扫描电镜（FE-SM）、扫描隧道显微镜（STM）、扫描透射电 镜（STEM）、扫描探针显微镜（SPM）、原子力显微镜（AFM）、 分析型电镜（与能谱，红外等设备联用） p扫描电镜的发展方向 第一节 扫描电镜的发展
第二章扫描电子墨微镜本童主要内容第一节的发展扫描电镜(SEM)第二节SEM的工作原理第三节SEM形貌和原子序数衬度第四节SEM在材料分析中的应用第五节电子探针显微分析技术及应用
l 第一节扫描电镜（SEM）的发展 l 第二节SEM的工作原理 l 第三节SEM形貌和原子序数衬度 l 第四节SEM在材料分析中的应用 l 第五节电子探针显微分析技术及应用 本章主要内容 第二章 扫描电子显微镜
第二节扫描电镜的工作原理p2.1 电子与固体试样的交互作用一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等
• 一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子 与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性 散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成 的各种信息，有：二次电子、背散射电子、阴极 发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收 电子、透射电子等。 p2.1 电子与固体试样的交互作用 第二节 扫描电镜的工作原理