第一节扫描电镜的发展p第三个阶段：商品化发展时期1965年，在各项基础技术有了很大进展的前提下才在英国诞生了第一台实用化的商品扫描电镜。此后，荷兰、美国、西德也相继研制出各种型号的扫描电镜，日木二战后在美国的支持下生产出扫描电镜串国勋在20世纪70年代生产出省已拍描电镜。前期近20年，扫描电镜主要是在提高分辨率方面取得了较大进展.80年代末期，各厂家的扫描电镜的二次电子像分辨率均已达到4.5nm.在提高分辨率方面各厂家主要采取了如下措施：（1)降低透镜球像差系数，以获得小束斑(2）士曾强照明源即提高电子枪亮度（如采用LaB6或场发射电子枪）（3）提高真空度（多级真空系统）和检测系统的接收效率；（4）尽可能减小外界振动干扰（磁悬浮技术）
• 1965年，在各项基础技术有了很大进展的前提下才在英国诞生了第 一台实用化的商品扫描电镜。此后，荷兰、美国、西德也相继研制出 各种型号的扫描电镜，日木二战后在美国的支持下生产出扫描电镜， 中国则在20世纪70年代生产出自己扫描电镜。 • 前期近20年，扫描电镜主要是在提高分辨率方面取得了较大进展.80 年代末期，各厂家的扫描电镜的二次电子像分辨率均己达到4.5 nm.在提高分辨率方面各厂家主要采取了如下措施: – (1)降低透镜球像差系数，以获得小束斑; – (2)士曾强照明源即提高电子枪亮度(如采用LaB6或场发射电子枪); – (3)提高真空度（多级真空系统）和检测系统的接收效率； – (4)尽可能减小外界振动干扰（磁悬浮技术）。 p第三个阶段 ：商品化发展时期 第一节 扫描电镜的发展
第一节扫描电镜的发展p第三个阶段：商品化发展时期?我国电子显微镜发展简史1958中科院长春光学研究所研制出我国第一台电镜，分辨本领100A。1959多家单位合作，研究出XD-100型透射电镜，分辨本领25A。1965.上海电子光学技术研究所制成DXA3-8型，分辨本领7A，使我国电镜技术“跃居世界先进水平。1975中科院北京科学仪器厂研制成功我国第一台扫描电子显微镜，分辨本领100A。1978上海新跃仪表厂和江南光学仪器厂试制成功透射扫描型电子显微镜
Ø 我国电子显微镜发展简史 • 1958 中科院长春光学研究所研制出我国第一台电镜，分 辨本领100 Å。 • 1959 多家单位合作，研究出XD-100型透射电镜，分辨本 领25 Å。 • 1965 上海电子光学技术研究所制成DXA3-8型，分辨本领7 Å，使我国电镜技术 跃居世界先进水平。 • 1975 中科院北京科学仪器厂研制成功我国第一台扫描电 子显微镜，分辨本领100 Å。 • 1978 上海新跃仪表厂和江南光学仪器厂试制成功透射扫 描型电子显微镜。 p第三个阶段 ：商品化发展时期 第一节 扫描电镜的发展
JEM1101透射电子显微镜JEOLJEM-1011
J E M 1 1 0 1 透 射 电 子 显 微 镜
JEOL扫描电子显微镜
JEOL扫描电子显微镜
第一代显微镜—光学显微镜1830年代后期为M.Schleide和T.Schmann所发明：它使人类“看"到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体，对社会的发展起了巨大的促进作用，至今仍是主要的显微工具：86T50
第一代显微镜——光学显微镜 1830年代后期为 M.Schleide和T.Schmann所 发明；它使人类“看”到 了致病的细菌、微生物和 微米级的微小物体，对社 会的发展起了巨大的促进 作用，至今仍是主要的显 微工具